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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應(yīng)用>半導(dǎo)體晶圓翹曲度測(cè)試方法

      半導(dǎo)體晶圓翹曲度測(cè)試方法

      2022-11-18 | pdf | 0.27 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      翹曲度是實(shí)測(cè)平面在空間中的彎曲程度，以翹曲量來表示，比如絕對(duì)平面的翹曲度為 0。計(jì) 算翹曲平面在高度方向最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)距離為最大翹曲變形量。
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