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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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國產光學輪廓儀 3d激光視覺輪廓儀

型號： Superview W1

--- 產品參數 ---

  • 注釋 更多詳細產品信息，請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

中圖儀器國產光學輪廓儀廠家的SuperViewW1 3d激光視覺輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓尺寸，此外具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

 

主要應用領域

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機械部件的計量；

5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。

 

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3d激光視覺輪廓儀

 

中圖儀器國產光學輪廓儀廠家以白光干涉技術為原理，使得SuperViewW1 3d激光視覺輪廓儀能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

 

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

 

部分參數

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復性：0.1nm

表面形貌重復性：0.1nm

臺階測量:重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%


 

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