中圖儀器SuperView 3d光學(xué)精密圖像測量系統(tǒng)是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的超高精度三維輪廓測量儀。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。儀器采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。
產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能。
SuperViewW系列輪廓測量儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。還支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。
測量步驟：
1.點擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；
3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；
5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；
6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；
7.點擊多區(qū)域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；
8.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設(shè)置；
9.點擊彈出框右下角的“開始”圖標，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。
SuperViewW系列輪廓測量儀以白光干涉測量技術(shù)為基礎(chǔ)，采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實時數(shù)據(jù)的同時，不會對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。
