激光干涉儀檢測常用于數控機床精度檢測和補償。中圖儀器SJ6000激光干涉儀件可以將線性測量結果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。
技術參數
產品型號：SJ6000
產品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩頻方式：雙頻激光熱穩頻
穩頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
測量分辨力：1nm
動態采集頻率：50KHz
預熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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SJ6000激光干涉儀檢測集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀檢測結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
