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中圖光學3d輪廓測量儀產品信息
中圖3d輪廓測量儀由照明光源系統,光學成像系統,垂直掃描系統以及數據處理系統構成,是以白光干涉技術為原理,結合具有優異抗噪性能的3D重建算法,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

3d輪廓測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
粗糙度分析操作步驟:
1. 將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態穩定;
2. 將夾具放置在載物臺上;
3. 檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態;
4. 使用操縱桿調節三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5. 完成掃描設置和命名等操作;
6. 點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);
7. 進入數據處理界面,點擊“去除外形",采用默認參數,點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8. 進入分析工具模塊,點擊參數分析,直接獲取面粗糙度數據,點擊右側參數標準可更換參數標準,增刪參數類型;
9. 如果想獲取線粗糙度數據,則需提取剖面線;
10. 進入數據處理界面,點擊“提取剖面"圖標,選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取;
11. 進入分析工具界面,點擊“參數分析"圖標,點擊右側參數標準,勾選所需線粗糙度相關參數,即可獲取線粗糙度Ra數據。

產品功能
1)具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;
2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別;
3)具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能;
4)具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能;
5)具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拼接測量等自動化功能;
6)具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具備word、excel等數據報表導出功能。
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