激光干涉儀的主要的應(yīng)用之一就是機(jī)床精度檢測。激光干涉儀可以通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機(jī)床精度檢測，它可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，具有更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力，同時可進(jìn)行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。
SJ6000激光干涉儀測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。
系統(tǒng)組件
1、激光主機(jī)
精準(zhǔn)——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。
SJ6800激光主機(jī)由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。
支持USB通信接口，可與計算機(jī)高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用。
2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元
可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動環(huán)境補(bǔ)償。
激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實(shí)時檢測環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長補(bǔ)償。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個材料溫度探頭，監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。
為了方便現(xiàn)場使用，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長。
3、三腳架及便攜箱
激光干涉儀檢測機(jī)床精度原理：邁克爾遜干涉原理
1、從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號： SJ6800
產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀
穩(wěn)頻方式： 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度： 0.04ppm
測量距離：≤（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）
測量分辨力：1nm
測量至大速度：4m/s
線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
主要特點(diǎn)：絕對測量、恒測力、無阿貝誤差
