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北方華創多款14nm設備在生產線評估驗證 10nm設備也在研發中

半導體動態 ? 來源:工程師吳畏 ? 2019-05-28 16:58 ? 次閱讀
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近日,北方華創總經理趙晉榮,副總經理張國銘等接待了上百家投資機構的調研。

作為國內知名半導體設備企業,近年來北方華創半導體裝備新產品開發與市場拓展在集成電路、先進封裝、LED、新型顯示、光伏等細分領域均取得了顯著進步,以集成電路和先進封裝為例。

在集成電路領域,由北方華創自主研發的14nm等離子硅刻蝕機、單片退火系統、LPCVD已成功進入集成電路主流代工廠;28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD設備已率先進入國際供應鏈體系;12英寸清洗機累計流片量已突破60萬片大關;深硅刻蝕設備也于去年一舉告捷東南亞市場。

北方華創表示,公司多款14nm設備在生產線評估驗證,多款10nm設備處于研發中。

在先進封裝領域,北方華創表示,在公司集成電路各細分領域中,先進封裝占比最高,功率器件占比次之,邏輯與存儲等先進制程領域占比較低。

據悉,北方華創應用于Bumping制程的Descum設備于2016年一經推出便收獲了市場的積極關注。此外,目前北方華創微電子開發的刻蝕機和PVD設備已在全球主要先進封裝企業中得到了廣泛應用;先進封裝PVD機臺也在全球CIS封裝企業中名列前茅;所開發的TSV刻蝕設備在大陸地區最近幾年的新增市場中亦實現了較高的市場占有率。

盡管邏輯與存儲等先進制程在北方華創集成電路領域中占比較較低,但值得注意的是,當前國內存儲器廠商產能擴張提升了對集成電路設備采購,而北方華創已經有多款設備進入存儲器生產線應用。

對于下游晶圓廠擴建的進度和規模預期,北方華創表示,外資廠在國內建線,一般是按原廠設備拷貝方案進行配置,對國產設備采購比例相對較低;

對于國內晶圓廠成熟技術節點的擴產,由于海外晶圓廠設備折舊基本完成,導致國內廠家成本壓力較大,評估和采購國產設備的意愿較強;

對于國內先進制程擴產,能采用多少國產設備,需要看國產設備的成熟程度,還需要時間去突破;

國內存儲晶圓廠,初期驗證的時候采用進口成熟設備比例較大,待其技術突破產能爬坡時,會逐步增加國產設備的配置比例以降低整線采購成本。

北方華創認為,存儲器產品工藝單一,追求更低成本,不受設計公司約束,因此比較適合國產廠商切入。

北方華創預期,公司元器件業務將保持平穩增長;電子專用設備業務總體保持增長態勢,其中鋰電設備領域競爭比較激烈,增幅較小;真空設備,受到客戶擴產影響,業務量應該和去年相仿;LED設備,最近行業擴產明顯放緩,后續隨著新技術出現,可能帶來機會;光伏設備發展勢頭良好,訂單增長將較快;集成電路設備,總體保持增長。

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