在集成電路發展的長河中,摩爾定律一直扮演著重要的角色。但近些年來,在工藝節點不斷向前推進的過程中,晶體管尺寸已經接近物理極限,半導體器件也面臨著短溝道效應、漏柵極漏電流增大,功耗增大的挑戰。在這種形勢下,摩爾定律這個“花甲老人”也逐漸走不動了。于是,半導體從業者開始思考在超摩爾定律下的發展契機——新材料和新原理器件被提綱上線。
根據ITRS(國際半導體技術藍圖)顯示,FinFET、FDSOI工藝撐起了10nm節點以前的天地。而當工藝節點進入到10nm以后,傳統硅通道開始被其他材質的通道取代,III族和V族的新材料開始嶄露頭角。尤其是在進入5nm工藝節點之時,ITRS認為,二維原子晶體材料器件將為后摩爾時代帶來新的機遇。
二維原子晶體材料簡稱二維材料,因載流子遷移和熱量擴散都被限制在二維平面內,使得相關器件擁有了較高的開關比、超薄溝道、超低功耗而受到了廣泛關注。與此同時,二維材料卻又因為在大面積高質量薄膜及異質結構的可控生長、發光器件效率較低、高性能二維器件制備及系統集成工藝上遇到了瓶頸,也使得相關從業者在這些方面上展開了研究。伴隨著研究的深入,二維材料由于其帶隙可調的特性,使之在場效應管、光電器件、熱電器件等領域應用廣泛。至此,新型二維材料和狄拉克薄膜材料為新物理器件提供了契機。
自2004年英國曼徹斯特大學Geim研究組成功剝離出石墨烯以來,二維原子晶體材料更是迎來了高光時刻。經歷了短短十多年的快速發展,基于二維材料的電子、光電子器件的研究取得了一系列引人注目的成果。
其中,就光電探測器的發展而而言,該器件的發展存在著兩個主要挑戰:第一,減少傳統使用的“非晶態”的薄膜材料的厚度,會降低材料的質量;第二,當超薄材料變得更薄的時候,它們幾乎變得透明,實際上會喪失一些聚集和吸收光線的能力。
而二維材料的出現,就極大地推動了光電探測器的發展。傳統的三維薄膜半導體(如Si、GaN、InGaAs、InSb、HgCdTe等)一直占據著光電探測市場的主導地位。而下一代光電探測器則向著寬波段、超靈敏、超小像元、超大面陣及多維度光信息探測等方向發展。相比較于傳統三維薄膜半導體,二維材料在一個維度的尺寸遠小于光波長,能夠獲得較低的暗電流及噪聲,具有功耗小、波段寬的優點。
同時,為了達到最優的探測器相應速度,需要在探測器的吸收層厚度和光電探測器的面積中尋找平衡。但是,石墨烯光電探測器具有低響應率,較慢的光響應時間和低外部量子效率(0.1-0.2%)等局限性。所以,為了尋找其他光電探測器二維材料來提高響應率和光譜選擇性,科學家們對石墨烯的關注熱情也逐漸拓展到了其他的二維材料上,也因此,越來越多的二維材料被發現并研究。這些二維材料就包含過渡金屬硫化物、過渡金屬氧化物以及氮化硼等。
復旦大學圍繞新型薄膜材料的新原理器件,利用分子束外延生長晶圓級薄膜材料,開展新原理晶體管和光電器件的研究工作。提出了薄膜晶體生長的新方案,解決了可控生長和摻雜的難題,實現了光電探測器。
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原文標題:5nm工藝節點以后,半導體器件的發展方向
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