2018年，南昌高新區(qū)在全省100個(gè)開發(fā)區(qū)綜合考評排名中位列第一名，這份靚麗的成績單離不開區(qū)內(nèi)企業(yè)的功勞。在不久前召開的2019年經(jīng)濟(jì)工作暨科技創(chuàng)新大會上，高新區(qū)拿出近億元資金創(chuàng)新性地重獎全區(qū)“工業(yè)十強(qiáng)、服務(wù)業(yè)十強(qiáng)、高成長性十佳、納稅十強(qiáng)、出口創(chuàng)匯十強(qiáng)、科技創(chuàng)新十佳”企業(yè)。他們是產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)的領(lǐng)跑者，是技術(shù)創(chuàng)新的佼佼者，他們奏響了南昌高新區(qū)新時(shí)代高質(zhì)量發(fā)展的最強(qiáng)音。為弘揚(yáng)正能量，引領(lǐng)發(fā)展潮流，南昌高新區(qū)推出《聚焦十強(qiáng)》欄目，一一展示這些企業(yè)的風(fēng)采。

今天我們推出“高成長性十佳”企業(yè)——南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司。

在2018年，南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱“南昌中微”）實(shí)現(xiàn)了全面投產(chǎn)，達(dá)到年產(chǎn)不少于100臺MOCVD設(shè)備的能力，并獲得MOCVD設(shè)備訂單208腔，實(shí)際銷售118腔。同樣在2018年，南昌中微實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值10.46億元，確認(rèn)銷售收入4.41億元，在國內(nèi)藍(lán)光LED設(shè)備市場占有率已超過了85%...這一項(xiàng)項(xiàng)成果見證了南昌中微在2018年取得的輝煌成就，見證了南昌中微正逐步成為國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)龍頭企業(yè)。

近年來，高新區(qū)在國家部委及省市的大力支持下，緊緊圍繞LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，以建設(shè)南昌光谷、打造中國品牌為目標(biāo)，依靠創(chuàng)新驅(qū)動和創(chuàng)新招商模式，瞄準(zhǔn)MOCVD高端設(shè)備制造前沿領(lǐng)域，于2017年引進(jìn)成立了南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，重點(diǎn)研發(fā)用于半導(dǎo)體照明和功率器件芯片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備。

南昌中微落戶高新區(qū)后，LED產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng)逐步顯現(xiàn)，高新區(qū)從而打造了從MO源、襯底材料、外延、芯片、封裝、終端應(yīng)用到MOCVD核心關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備等擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的LED完整產(chǎn)業(yè)鏈，并已成為全國唯一擁有全產(chǎn)業(yè)鏈原創(chuàng)技術(shù)自主知識產(chǎn)權(quán)的開發(fā)區(qū)。

作為國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金首個(gè)投資企業(yè)，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）成立于2004年，是國內(nèi)半導(dǎo)體和集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)，旗下芯片制造前道等離子刻蝕設(shè)備（D-RIE）、硅通孔設(shè)備(TSV)和金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD）這三大產(chǎn)品在各自的細(xì)分領(lǐng)域都位居世界前三強(qiáng)。截至目前，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司申請專利1200多項(xiàng)，其中957項(xiàng)已獲得授權(quán)。

中微公司自主研發(fā)生產(chǎn)的Prismo系列MOCVD設(shè)備，是國內(nèi)最早成功進(jìn)入多家主要LED和功率器件生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)線并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)的設(shè)備。精準(zhǔn)的參數(shù)控制、全自動的裝卸和生產(chǎn)過程、簡便的操作與維護(hù)、可連續(xù)加工100批次以上不需要開腔清潔等突出優(yōu)點(diǎn)，以及符合SEMIS2標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)計(jì)，使中微的MOCVD設(shè)備在生產(chǎn)線上具有高可靠性、高重復(fù)性和高生產(chǎn)良率等特點(diǎn)和表現(xiàn)。中微MOCVD設(shè)備Prismo A7?是目前世界上單爐LED產(chǎn)能最高、單位能耗最低的MOCVD機(jī)臺，其他各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)也均已達(dá)到了目前世界先進(jìn)水平。

中微MOCVD高端裝備在高新區(qū)的落戶，不僅打破了國外技術(shù)的壟斷，而且補(bǔ)齊了高新區(qū)LED產(chǎn)業(yè)鏈，并有助于打造大國重器產(chǎn)業(yè)鏈。MOCVD除了應(yīng)用于藍(lán)光外，也將延伸到其它應(yīng)用，例如深紫外和功率器件等第三代半導(dǎo)體應(yīng)用。至此，南昌高新區(qū)不僅擁有了LED核心技術(shù)，也擁有了國內(nèi)自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備；接下來，中微公司將有計(jì)劃增加新設(shè)備制造到南昌中微基地，包括集成電路刻蝕機(jī)臺，并加大設(shè)備研發(fā)投入，將南昌高新區(qū)打造成為國內(nèi)最先進(jìn)的微觀加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈基地。

下一步，南昌高新區(qū)將積極促進(jìn)中微公司生產(chǎn)基地上下游供應(yīng)鏈企業(yè)落戶南昌，推動形成半導(dǎo)體高端設(shè)備制造的產(chǎn)業(yè)集群，引領(lǐng)南昌打造成為全球最重要、規(guī)模最大的高端MOCVD裝備制造基地。同時(shí)，南昌中微MOCVD裝備制造也將為江西LED產(chǎn)業(yè)的核心競爭力注入新的血液，將助推“南昌光谷”成為中國規(guī)模最大、技術(shù)水平最高、產(chǎn)業(yè)鏈最完整的LED生產(chǎn)基地。