目前市面上最便宜的單片清洗設(shè)備是兩個腔體的50-60萬美金,而6-8個腔體的單片式清洗設(shè)備的價值大概300-400萬美金。槽式價格100-200萬美金市場價格。

近日，至純科技迎來了浙商證券、海富通基金、申萬宏源、光大證券等25家投資機構(gòu)調(diào)研。至純科技表示，公司濕法槽式清洗設(shè)備已獲得6臺的量產(chǎn)訂單，客戶是中芯國際和萬國半導(dǎo)體，這次的六臺設(shè)備都是槽式設(shè)備，主要是適用于半導(dǎo)體廠商8寸線。9月下旬可交付2臺，樂觀估計今年四季度或明年一季度確認收入。

從清洗設(shè)備的配備量來看,目前以4萬片產(chǎn)能的產(chǎn)線為例，一般情況下,8寸線匹配50臺設(shè)備,12寸線國內(nèi)匹配70臺設(shè)備左右,包括槽式和單片,國外有的廠商能夠達到120臺清洗設(shè)備水平。在一個Fab廠清洗機需要2個億美金。

隨著下游對良率要求高,會大量采用單片式,但是單片式清洗效率低,單片式清洗設(shè)備根據(jù)腔體數(shù)量不同,清洗效率也不同,一個腔體一次只能清洗一片。未來隨著良率越來越高,單片式需求會越來越大。我們公司通常根據(jù)客戶具體要求來提供清洗機。

目前市面上最便宜的單片清洗設(shè)備是兩個腔體的50-60萬美金,而6-8個腔體的單片式清洗設(shè)備的價值大概300-400萬美金。槽式價格100-200萬美金市場價格。

國外單片式清洗設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到12個、16個腔體了,腔體多對應(yīng)的附屬設(shè)備的介質(zhì)供應(yīng)也多,需要滿足智能化、軟件控制、壓力均等和清洗后的存放等需求。設(shè)備選擇還是更看重良率和技術(shù)更新。

濕法清洗設(shè)備種類很多,從種類和功能上國產(chǎn)設(shè)備目前實現(xiàn)的只有其中的10%,公司產(chǎn)線達產(chǎn)以后希望做30%以上的品類,未來我們希望濕法清洗機臺的國產(chǎn)化率可以達到85%,進口替代能夠大大增加國內(nèi)廠商的競爭實力,避免國外廠商的價格壟斷。

清洗設(shè)備在晶圓制造過程中反復(fù)使用,每道工藝都要清洗,是必備工藝,也會有具體的細分,14nm是我們目前正在做的。公司的設(shè)計、制造實力是可以覆蓋較多種類,但是未來也是步步為營,不可能一蹴而就。我們非常看重客戶需求,未來會跟動客戶需求逐步擴張我們的產(chǎn)品線。

據(jù)悉，至純科技濕法事業(yè)部于去年底成立,目前有人員近40人,槽式清洗設(shè)備目前是在日本制造,將來會放在啟東,新廠樂觀估計十月份部分交付使用,明年下半年產(chǎn)能有望開始釋放,但達產(chǎn)仍需過程,最主要的制約因素是高端人才的培訓(xùn)需要比較長的周期。公司在去年年報提出的目標(biāo)是未來五年內(nèi)實現(xiàn)清洗設(shè)備累積銷售200臺。目前第一期設(shè)計產(chǎn)能是年產(chǎn)48臺。未來濕法事業(yè)部的團隊規(guī)模有望達到300-400人。