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ASML計劃在2018年生產20臺EUV光刻機

中國半導體論壇 ? 來源:未知 ? 作者:李倩 ? 2018-05-17 09:22 ? 次閱讀

據業內最新消息,全球最大的芯片機器制造商、荷蘭的AMSL證實,中國向荷蘭訂購一臺最新型的使用EUV(極紫外線)技術的芯片制造機器光刻機,訂貨單位是中芯國際(SMIC)。這也幾乎花掉了中芯國際2017年的所有利潤,該公司去年的凈利潤為1.264億美元。

不過在大家了解到 EUV 設備有多重要之后,就知道這筆錢花的有多值了。

EUV 作為現在最先進的光刻機,是唯一能夠生產 7nm 以下制程的設備,因為它發射的光線波長僅為現有設備的十五分之一,能夠蝕刻更加精細的半導體電路,所以 EUV 也被成為“突破摩爾定律的救星”。從2019年半導體芯片進入 7nm 時代開始(現在我們處于 10nm 時代),EUV 光刻機是絕對的戰略性設備,沒有它就會寸步難行。

日經亞洲表示,臺積電、英特爾三星等半導體巨頭都已經向 ASML 采購了 EUV 光刻設備,臺積電預定了10套,三星6套,英特爾3套。更可怕的是,ASML 是世界上唯一一個能夠制造 EUV 光刻機的廠商,并且產量極低,所有產能早在生產之前就已經被預訂一空。據介紹,ASML 計劃在2018年生產20臺 EUV 光刻機,中芯國際的這一臺將會在2019年交付。

對于中芯國際斥巨資預定 EUV 設備,日經亞洲表示雖然中芯國際的技術落后三星、臺積電兩到三代,現在還在 28nm 和 14nm ,但是擁有 EUV 光刻機之后,對于中國自主研發半導體技術是有著重大意義的。

不過也有很多人對這一消息提出了質疑,因為根據瓦森納協議,ASML 等廠商是不被允許向中國銷售頂級光刻機的。不過 ASML 的一位發言人表示,他們并沒有違反瓦森納協議,所有客戶都是完全平等的,只要客戶下單,EUV要進口到中國完全沒有任何問題。

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原文標題:國內首臺!中芯國際購得新型EUV光刻機!

文章出處:【微信號:CSF211ic,微信公眾號:中國半導體論壇】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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