KLA Instruments 小課堂

定期分享KLA Instruments旗下產品的各種技術資料、應用筆記和使用指南。

旗下產品包括：輪廓儀、納米壓痕儀、薄膜測厚儀、方阻測量儀以及晶圓缺陷檢測系統。

6月11日，KLA Instruments將亮相一年一度的2025國際太陽能光伏與智慧能源&儲能及電池技術與裝備(上海)大會。

SNEC PV Power& ES Expo

SNEC光伏展覽會是全球性的專業光伏展，其展出內容包括：光伏生產設備、材料、光伏電池、光伏應用產品和組件，以及光伏工程及系統、儲能、移動能源等，涵蓋了光伏產業鏈的各個環節。

SNEC光伏論壇形式也格外豐富多彩，涉及光伏產業未來市場趨勢分析、合作發展策略、各國政策導向、行業最前沿技術、光伏金融等，是向業界展示成果的最佳機會。

KLA Instruments將借此次機會展出最新推出的新品光學輪廓儀Zeta-Solar、Zeta-20HR，探針式輪廓儀Tencor P-7、方阻測試儀Filmetrics R54等多款重點機型，并由應用經理 Dr. Jianhui Liang帶來關于“KLA 在光伏電池片制造領域的解決方案”的精彩演講。歡迎蒞臨！

展會時間：2025年6月11日-13日

展會地點：國家會展中心（上海市青浦區崧澤大道333號）

展位號：1.2H-E530

演講主題：KLA 在光伏電池片制造領域的解決方案

演講嘉賓：梁建輝 博士

演講時間：2025年6月12日，下午14:45

演講地點：國家會展中心上海洲際酒店，多功能廳10

梁建輝 博士PROFILE

KLA Instruments 應用工程經理

梁建輝博士是科磊半導體的應用工程經理，在KLA美國總部帶領KLA Instruments的應用開發團隊，專注于推進表面量測技術的應用開發，包括探針式輪廓儀、白光干涉、自動變焦、反射光譜、四探針測方阻、渦流法測電阻等量測技術。梁建輝于2011年和2016年分別獲得復旦大學物理學學士和博士學位，并于2016年加入KLA。迄今為止已經發表超過25篇學術論文，累計被引超過600次。他的研究成果發表于Applied Physics Letters, Optics Express, Advanced Optical Materials, Physical Review B, Thin Solid Films等知名學術期刊。

課程內容包括：

1）光學輪廓儀如何對晶硅太陽能電池片的絨面及表面柵線輪廓進行測量；

2）臺階儀如何對鈣鈦礦電池器件的薄膜厚度進行快速且準確的測量；

3）方阻測試儀如何在擴散、氧化和退火工藝流程中進行有效的方阻監控。