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星納微(天津)精密科技有限公司成立于天津,公司致力于精密儀器設備制造,注重科技創新。作為國內領先的的3D量測設備及高精度的氣浮平臺供應商,我們為各行業的用戶提供完善的系統解決方案。公司的產品包括:控制軟件、驅動器、運動平臺,納米級定位平臺,精密氣浮平臺,3D自動量測機,3D輪廓儀,激光掃描振鏡等一系列精密儀器設備及解決方案。公司的產品及方案廣泛地應用于各個行業:醫療器械、生命科學、半導體和集成電路、激光加工、光電、自動化、數據存儲、航天航空、電子制造和測試、高校科研等有高精度高穩定性要求的眾多行業。
產品概述:
對產品進行三維形貌測量,集合了相位差干涉,白光干涉,共聚焦,多焦面疊加的四合一的技術,可以做面型測量,共面度檢測,研磨后的粗糙度檢測,顆粒度檢測,結構測量,孔深孔徑,真圓度,膜厚測量,RDL線路量測,鐳切槽檢測,線寬,線距,去干膜前銅厚,SOLDER MASK開口尺寸,銅面粗糙度等眾多三維量測項目。
3D自動量測機主要是對晶圓、PCB板等產品進行的三維形貌測量。設備可高精度、快速、自動化進行PCB產品表面3D形貌測量。
性能指標:

1).高精度(0.1nm高度分辨率)
2).超快速(2S/FOV)
3).多功能(共聚焦/干涉/多焦面)
4).多點編程量測
5).自動化(自動掃描、自動數據統計、自動數據上傳)
6).條碼讀取調用模板
7).CCD影像定位(漲縮、擺放偏移校正)
8).SECS/GEM
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