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中國科學院上海微系統所開發出高性能10mm大口徑壓電 MEMS 快反鏡

傳感器專家網 ? 來源:IT之家 ? 作者:IT之家 ? 2025-06-07 17:44 ? 次閱讀

5 月 16 日消息,中國科學院宣布,上海微系統與信息技術研究所研究員武震宇、助理研究員王櫟皓團隊,開發了一種高性能的 10 毫米大口徑壓電 MEMS微機電系統)快反鏡。

這種產品能夠實現更精確的激光光束閉環控制,可滿足激光星間鏈路對高精度、快速響應與穩定性的需求,為衛星通信終端提供小型化高性能解決方案。

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快反鏡在衛星激光通信中承擔著光束指向、捕獲和跟蹤等重要作用,具備高指向精度、高工作帶寬和高光學質量等一系列極限性能指標。

據介紹,研究團隊在前期研究基礎上開發了一種 10 毫米大口徑壓電驅動 MEMS 快反鏡。該設計采用雙層異構集成技術以及晶圓級鍵合工藝,器件具備高線性度超高角度分辨率、快速階躍響應以及高重復定位精度。

在結構設計方面,研究團隊創新性引入力學定向結構形成應力集中區域,顯著優化了光束控制的精確性。

在性能表征方面,研究團隊首次針對 10 毫米大口徑鏡面動態變形進行表征,在準靜態驅動下最大動態表面形變僅 2 納米,滿足遠距離衛星激光通信對鏡面面型的嚴苛要求。

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研究團隊表示,與傳統機械快反鏡及現有商用 MEMS 快反鏡相比,該器件優勢顯著,在航空航天領域具有重要的應用前景,未來將繼續針對鏡面尺寸、閉環控制以及器件可靠性進行優化研究。

審核編輯 黃宇

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