半導體測試設備系統大致包括以下兩部分:半導體測試機和探針臺。
其中,前者負責測試晶圓器件參數(如IV,CV,Vt,Ion/Ioff等),或者可靠性(如HCI,NBTI,TDDB等)測試,通常稱作半導體測試儀,簡稱“半測儀”。
而后者是由晶圓承載臺及其配套設備,如馬達步進驅動,針座/針卡等構成為晶圓測試提供測試支持的設備系統,通常稱作“探針臺”。探針臺根據測試自動化程度不同,分為這樣三種分類:手動探針臺,半自動探針臺,全自動探針臺。
下面介紹季豐電子的半測儀和探針臺設備。
半測儀設備介紹:
Keysight B1500:
B1500半導體參數分析儀是一款一體化器件表征分析儀,能夠測量表征大多數電子器件、材料、半導體和有源/無源元器件的主要基本參數。其電壓電流的高精度和穩定性經過多年口碑沉積,是目前半導體業界標桿式的測試設備。
Keysight B1500 | 配置 | 性能 |
數量:1套 |
4個DC SMU測試模塊: (1HPSMU, 3HRSMU) |
Max Voltage : HRSMU+/-100V; HPSMU+/-200V Voltage Resolution :0.5uV Max. Current: +/-100mA Current Resolution :1fA |
概倫FS-PRO
FS-Pro 半導體參數測試系統是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備,在一個系統中實現了電流電壓 (IV)測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。
幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統中完成。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統中完成。其全面而強大的參數測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發和評估進程。
概倫FS- PRO |
配置 | 性能 |
數量:1套 |
4HVSMU, CV Meter, 脈沖PGU High Speed SMU |
Max Voltage: HVSMU+/-200V Voltage Resolution :0.5uV Max Current: +/-100mA Current Resolution :1fA CV Frequency: 20~2MHz Min. Sampling time: <10ns |
Keysight WAT 4082F
Keysight是德科技WAT 4082是目前業界主流WAT測試機,其一貫精確和穩定的性能有口皆碑。季豐電子和Keysight是德科技開展戰略合作,已引入WAT4082測試機。同時購入Accretech AP3000e全自動探針臺,搭配成完整WAT測試系統,如上圖所示。可為客戶提供可靠專業的WAT相關測試服務。
Keysight 4082F | 配置 | 性能 |
數量:1套 |
1HPSMU, 5MPSMU, CV Meter 脈沖PGU, DVM |
Max Voltage: MPSMU+/-100V; HPSMU+/-200V Voltage Resolution :0.5uV Max Current: +/-100mA Current Resolution :10fA CV Frequency: 1K~1MHz |
另外季豐電子也可以為客戶提供標準或定制所需全自動各類WAT針卡的服務。
探針臺設備介紹:
半自動探針臺Formfactor CM300
CM300探針臺是一款優秀的晶圓測試支持平臺,可應對極其復雜的環境帶來的測量挑戰,支持8寸和12寸晶圓。其可以靈活穩定完成DC、AC 和 RF微波器件特性、WLR等測試任務。該探針臺設備可以隨意搭配B1500或概倫FS-PRO半測儀設備。
Formfactor CM300 | 配置 | 性能 |
數量:1套 支持搭配B1500 或概倫FS-PRO |
6個針座,包含6根高溫DCP刀片針 |
支持8/12寸晶圓 單片晶圓全自動跳die 測試溫度范圍: 60~300C |
全自動探針臺Accrotech (TSK)
AP3000e
全自動探針臺Accrotech (TSK)AP3000e是高精度、高效率(index移動、晶圓搬送、晶圓對齊)、低震動、低噪音、新一代高性能探針臺。其能力足夠覆蓋大部分半導體器件驗證測試項目。
同時,由于高低溫(-50~150°C)晶圓全自動探針臺的自動対針換片功能的使用,使得多片晶圓和多測試結構的測試效率較之半自動探針臺均有顯著提升。
Accrotech (TSK) AP3000e |
配置 | 性能 |
數量:2臺 1臺搭配 WAT4082 1臺搭配B1500 或概倫FS-PRO |
支持4070/4080規格 Probe-Card 針卡或4.5英寸方卡; |
支持8/12寸晶圓測試 全自動跳die和load片 測試溫度范圍: -40~150C |
特別聲明,以上測試設備所提供的測試服務均是非量產測試,客戶如需ATE量產CP/FT測試,可以安排在季豐電子的嘉善測試基地執行。
季豐電子
季豐電子成立于2008年,是一家聚焦半導體領域,深耕集成電路檢測相關的軟硬件研發及技術服務的賦能型平臺科技公司。公司業務分為四大板塊,分別為基礎實驗室、軟硬件開發、測試封裝和儀器設備,可為芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導體產業鏈和新能源領域公司提供一站式的檢測分析解決方案。
季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術企業、上海市“科技小巨人”、上海市企業技術中心、研發機構、公共服務平臺等企業資質認定,通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工超1000人,總部位于上海,在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。
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原文標題:靈活多樣的半導體測試設備助力季豐電子晶圓測試
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