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沐渥科技詳解氮氣柜操作指南

沐渥科技 ? 2025-04-10 10:01 ? 次閱讀

氮氣柜是一種通過持續注入高純度氮氣,維持柜內惰性氣體環境的設備,用于存儲半導體晶圓或其他敏感元件,防止氧化、吸濕和污染。氮氣柜操作指南是怎樣的?下面沐渥小編給大家介紹一下。
一、操作前準備
(1)安全確認:確保設備周圍通風良好,遠離火源或高溫區域;確認氮氣供應管路連接牢固,氣瓶壓力≥5 bar,氮氣純度≥99.999%;校準氧氣濃度監測儀和溫濕度傳感器、流量,確保精度誤差;檢查氮氣柜密封條完好,無破損;柜門閉合正常,壓力表、溫濕度傳感器顯示正常。
(2)個人防護:操作時需佩戴防靜電手套、無塵服,避免直接接觸電子元件表面。
二、操作步驟
(1)啟動氮氣柜:緩慢打開氮氣瓶閥門,調節減壓閥至設備指定壓力;啟動氮氣柜電源,通過控制面板設置目標濕度(通常30%-50%)和氧氣濃度閾值(≤0.5%)。確認電磁閥啟動聲,觀察流量計數值與設定值一致?。關閉柜門,確認密封膠條無變形,啟動自動充氮程序,直至柜內環境達到設定值。
(2)存取電子元件:鑰匙開門或觸屏開門,開門后,快速存取物品,每次開門時間不超過30秒,以減少氮氣流失。
(3)放置規范:避免堆疊或傾斜,輕拿輕放,避免靜電放電損傷。

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三、日常監控
(1)實時參數監測:每小時記錄一次柜內氧含量、濕度及溫度數據、每日流量等,如氧含量>200 ppm或濕度>10% RH,立即檢查氣源或密封性。
(2)定期校準:每月使用標準傳感器校準柜內氧含量和濕度。
四、維護與保養
(1)常規維護:清潔柜體表面,檢查氮氣流量計是否正常;檢查密封條是否老化,檢查管路是否有泄漏。
(2)長期停機:若設備停用超過24小時,需排空柜內氮氣,關閉氣源并斷電。恢復使用時,重新執行預充氮流程。
五、安全注意事項
氮氣為無色無味氣體,高濃度會導致缺氧,操作時確保通風,禁止將頭伸入柜內。若發現氮氣泄漏,立即關閉氣源,疏散人員并通風。氮氣柜附近嚴禁使用明火或高溫設備。若柜內溫濕度持續超標,立即轉移晶圓至備用柜并聯系設備廠商。

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六、?耗材與設備壽命?
電磁閥和傳感器壽命約5萬次動作,建議每2年預防性更換?。通過規范操作和定期維護,氮氣柜可保障晶圓存儲的潔凈度和氧含量穩定性,并能精準的統計每日消耗的流量。
沐渥建議本指南需結合設備實際型號及廠商手冊使用,操作人員需經過專業培訓后方可上崗。

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