氬離子拋光技術又稱CP截面拋光技術,是利用氬離子束對樣品進行拋光,可以獲得表面平滑的樣品,而不會對樣品造成機械損害。去除損傷層,從而得到高質量樣品,用于在SEM,光鏡或者掃描探針顯微鏡上進行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。
同時,CP截面拋光儀制樣廣泛,可用于于各種材料樣品(除了液態)的制備,適應大多數材料類型,對大面積、表面或輻照及能量敏感樣品尤佳,有鋼鐵、地質、油頁巖、鋰離子電池、光伏材料、陶瓷、金屬(氧化物,合金)、高分子,聚合物、薄膜、半導體、EBSD樣品、生物材料等包括平面拋光與截面拋光。
應用范圍
1.鋰電池領域
在鋰電池領域,氬離子束拋光技術主要應用于電極片的制備。鋰電池的性能和壽命與其電極材料的微觀結構密切相關。氬離子束拋光技術能夠清晰地展示正極片和負極片的微觀結構,為電池材料的研究和質量控制提供重要支持。

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖
2.金屬與合金領域
氬離子束拋光技術在金屬和合金的樣品制備中也得到了廣泛應用。金屬材料的表面質量和微觀結構對其性能和應用效果具有重要影響。氬離子束拋光技術能夠實現金屬表面的高平整度和高清潔度處理,同時保留金屬的原始晶體結構。例如,在鋼鐵材料的研究中,氬離子束拋光技術能夠清晰地展示鋼材的微觀組織結構,如晶粒尺寸、相分布等,從而為鋼材的性能優化和質量控制提供重要依據。
在合金材料的研究中,氬離子束拋光技術能夠揭示合金的微觀相結構和元素分布,這對于理解合金的性能和開發新型合金材料具有重要意義。
3.半導體與微電子領域
氬離子束拋光技術在半導體和微電子領域的應用也極為重要。半導體材料的表面質量和微觀結構對其電學性能和光學性能具有決定性影響。氬離子束拋光技術能夠實現半導體表面的高精度處理,同時避免引入任何化學污染或機械損傷。這種高質量的表面處理效果為半導體材料的性能測試和器件制造提供了理想的樣品。
例如,在硅片的拋光中,氬離子束拋光技術能夠實現納米級的表面平整度,從而為后續的光刻和蝕刻工藝提供高質量的表面。在半導體器件的制備中,氬離子束拋光技術能夠實現器件內部結構的高精度觀察,為器件的性能優化和可靠性評估提供重要支持。
4.陶瓷與復合材料領域
氬離子束拋光技術在陶瓷和復合材料的樣品制備中也得到了廣泛應用。陶瓷材料的表面質量和微觀結構對其力學性能和熱學性能具有重要影響。氬離子束拋光技術能夠實現陶瓷表面的高平整度和高清潔度處理,同時保留陶瓷的原始晶體結構。這種高質量的表面處理效果為陶瓷材料的性能測試和應用開發提供了理想的樣品。例如,在氧化鋁陶瓷的研究中,氬離子束拋光技術能夠清晰地展示陶瓷的微觀結構,如晶粒尺寸、晶界分布等,從而為陶瓷材料的性能優化和質量控制提供重要依據。
5.生物材料與生物醫學領域
氬離子束拋光技術在生物材料和生物醫學領域的應用也逐漸受到關注。生物材料的表面質量和微觀結構對其生物相容性和生物活性具有重要影響。氬離子束拋光技術能夠實現生物材料表面的高精度處理,同時避免引入任何化學污染或機械損傷。這種高質量的表面處理效果為生物材料的性能測試和應用開發提供了理想的樣品。
在鋰電池電極片中的應用效果
氬離子束拋光技術在鋰電池電極片的制備中表現出色,能夠提供清晰的微觀結構圖像,助力電池材料的深入研究和質量把控。在鋰電池的研究中,電極片的微觀結構對其性能和壽命具有重要影響。金鑒實驗室通過氬離子束拋光技術能夠清晰地展示正極片和負極片的微觀結構,為電池材料的研究和質量控制提供重要支持。
1.正極片的應用效果
經過氬離子束拋光的鋰電池正極片,其微觀結構清晰可見,展現出良好的均勻性和一致性。正極材料的微觀結構,如顆粒尺寸、孔隙率和晶體取向等,對其電化學性能和熱穩定性具有重要影響。氬離子束拋光技術能夠清晰地展示這些微觀結構特征,從而為研究人員提供準確的分析數據。例如,通過觀察正極片的微觀結構,研究人員可以評估材料的結晶度和顆粒分布,進而優化正極材料的制備工藝,提高電池的性能和壽命。

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖
2.負極片的應用效果
負極片的氬離子束拋光效果圖則揭示了材料的微觀結構細節,為研究電池充放電過程中的物理化學變化提供了關鍵信息。負極材料的微觀結構,如顆粒尺寸、孔隙率和表面形貌等,對其電化學性能和循環穩定性具有重要影響。


鋰電池負極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖
3.電池隔膜的應用效果
電池隔膜的氬離子束拋光效果圖清晰地展示了隔膜材料的孔隙結構和表面特性。隔膜的孔隙結構和表面特性對其離子傳輸性能和機械穩定性具有重要影響。氬離子束拋光技術能夠清晰地展示這些微觀結構特征,從而為研究人員提供準確的分析數據。例如,通過觀察隔膜的孔隙結構,研究人員可以評估隔膜的離子傳輸性能和機械穩定性,進而優化隔膜材料的設計和制備工藝,提高電池的性能和壽命。

電池隔膜氬離子拋光制樣后效果圖

電池隔膜氬離子拋光制樣后效果
結論
氬離子拋光技術以其高效、無損的特點,已成為鋰電池電極片SEM電鏡測試的優選技術。
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制備用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析的氬離子拋光和化學拋光(CP)截面樣品

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