掃描電鏡本身主要用于觀察樣品的微觀形貌，但與能譜儀（EDS）或波譜儀（WDS）等設(shè)備聯(lián)用后，可用于測(cè)定多種元素，具體如下：

能譜儀（EDS）可測(cè)定的元素

-輕元素：一般能測(cè)定原子序數(shù)大于等于4的元素，如鈹（Be）、硼（B）、碳（C）、氮（N）、氧（O）等。這些輕元素在許多材料中都廣泛存在，例如碳元素在各類有機(jī)材料、碳納米材料中是主要組成元素；氧元素在金屬氧化物、陶瓷等材料中大量存在，通過掃描電鏡-能譜儀聯(lián)用可以對(duì)這些材料中的輕元素進(jìn)行定性和定量分析。

-重元素：能測(cè)定包括過渡金屬元素如鐵（Fe）、銅（Cu）、鋅（Zn）、鎳（Ni）等，以及貴金屬元素如金（Au）、銀（Ag）、鉑（Pt）等，還有稀土元素如鈰（Ce）、鑭（La）等。在合金材料、電子元件、催化劑等領(lǐng)域，對(duì)這些重元素的測(cè)定非常重要，比如在研究合金的成分和性能關(guān)系時(shí)，需要準(zhǔn)確測(cè)定其中各種金屬元素的含量。

波譜儀（WDS）可測(cè)定的元素

-從低原子序數(shù)到高原子序數(shù)元素：波譜儀理論上可以測(cè)定從氫（H）到鈾（U）的所有元素。對(duì)于輕元素，波譜儀的檢測(cè)精度相對(duì)能譜儀更高，能更準(zhǔn)確地測(cè)定如鋰（Li）、鈹（Be）等元素的含量。對(duì)于高原子序數(shù)元素，如鉛（Pb）、鈾（U）等，波譜儀也能通過精確測(cè)量其特征X射線波長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)這些元素的高靈敏度檢測(cè)，在地質(zhì)樣品分析中，對(duì)于含有高原子序數(shù)元素的礦物，波譜儀可以準(zhǔn)確測(cè)定其元素組成。

不同的掃描電鏡以及配套的能譜儀或波譜儀在實(shí)際測(cè)定元素時(shí)，可能會(huì)因設(shè)備的性能、樣品的性質(zhì)等因素存在一定差異。但總體來說，通過掃描電鏡與這些分析設(shè)備的聯(lián)用，可以對(duì)周期表中大部分元素進(jìn)行有效的測(cè)定和分析。