選擇掃描電鏡的分辨率需要綜合考慮多個(gè)因素。

首先是研究目的。如果只是需要對樣品的大致形貌進(jìn)行觀察，例如查看較大顆粒的分布或者材料表面的宏觀缺陷，較低分辨率（如 3 - 10nm）可能就足夠了。但如果要觀察樣品的精細(xì)微觀結(jié)構(gòu)，像納米級別的晶體結(jié)構(gòu)、細(xì)胞的超微結(jié)構(gòu)等，就需要更高的分辨率，通常要達(dá)到 1 - 3nm 甚至更高。

其次是樣品自身特性。對于一些結(jié)構(gòu)簡單、特征尺寸較大的樣品，不需要特別高的分辨率。而對于納米材料、生物大分子等微小且結(jié)構(gòu)復(fù)雜的樣品，為了看清其細(xì)節(jié)，則要選擇高分辨率模式。

還要考慮掃描速度與分辨率之間的平衡。一般來說，高分辨率掃描需要更慢的掃描速度，因?yàn)橐杉嗟?a target="_blank">信號點(diǎn)來提高清晰度。如果時(shí)間有限，且對細(xì)節(jié)要求不是極高，可以適當(dāng)降低分辨率來加快掃描速度。

另外，儀器性能也是關(guān)鍵。不同型號的掃描電鏡有其固定的最佳分辨率范圍。要了解儀器的標(biāo)稱分辨率，并且結(jié)合實(shí)際的操作經(jīng)驗(yàn)來選擇合適的分辨率設(shè)置。比如，有些高端掃描電鏡在最佳條件下可以達(dá)到亞納米分辨率，這種儀器在觀察精細(xì)結(jié)構(gòu)時(shí)就可以充分發(fā)揮其優(yōu)勢。