在半導(dǎo)體制造工廠中，各種電子設(shè)備所用半導(dǎo)體的制造過程中使用了多種化學(xué)品。在進(jìn)行下一道工序之前，需要除去附著在電路上的多余的化學(xué)物質(zhì)，并且使用“超純水”進(jìn)行該清洗。“超純水”是指高度純化的水，已去除常見礦物質(zhì)、細(xì)菌和微生物，確保良好的清洗效益。

電導(dǎo)率是表示電流在水中流動(dòng)難易程度的指標(biāo)。通過測(cè)量電極之間流過的電流值，可以判斷水是否具有高純度判斷水是否含有較多雜質(zhì)，也是判斷超純水的重要依據(jù)。對(duì)此，物通博聯(lián)提供工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)接入電導(dǎo)率儀數(shù)據(jù)采集遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)解決方案，通過實(shí)時(shí)采集電導(dǎo)率數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)對(duì)純水的自動(dòng)監(jiān)測(cè)、告警、控制與管理，確保水質(zhì)安全進(jìn)而保障半導(dǎo)體生產(chǎn)工作有序進(jìn)行。

通過RS485將電導(dǎo)率儀連接工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)，進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集工作并以5G/4G/WIFI/以太網(wǎng)等方式對(duì)接到云平臺(tái)或上位機(jī)中，從而實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)率的可視化監(jiān)控，并在超出安全閾值時(shí)自動(dòng)告警，通過微信、短信、郵件等方式進(jìn)行通知，確保及時(shí)管理控制，保障純水濃度，確保生產(chǎn)安全與產(chǎn)品質(zhì)量。

通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電導(dǎo)率數(shù)據(jù)報(bào)表，企業(yè)可以收獲純水管理經(jīng)驗(yàn)，從而為優(yōu)化管理制度提供可靠數(shù)據(jù)支持。通過識(shí)別定位到異常告警事件，可以定位出現(xiàn)異常的部分并快速診斷，從而及時(shí)采取措施，通過改善工藝、升級(jí)設(shè)備等系列手段，維護(hù)設(shè)備良好運(yùn)行，促進(jìn)生產(chǎn)升級(jí)。


審核編輯 黃宇