近期，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司榮獲“晶圓清洗設備及其晶圓定位裝置、晶圓定位方法”專利，專利號cn113539918b，授權日期為2024年5月17日，申請日期為2021年6月30日。

該發(fā)明涉及一種晶圓清洗設備及晶圓定位裝置、定位方法。其中，晶圓定位裝置主要用于帶有定位部的晶圓定位，其結構包括密封腔體、密封蓋、承載組件、定位組件和導向組件。密封蓋可開合地安裝在密封腔體上，承載組件可旋轉地置于密封腔體內，用于承載晶圓并使其繞軸旋轉；定位組件則安裝在密封腔體內，與定位部配合實現晶圓定位；導向組件則位于承載組件上方的密封腔體內，與承載晶圓的邊緣部分間隙配合，引導晶圓運動。此發(fā)明能提升晶圓定位裝置的穩(wěn)定性，防止晶圓在定位過程及定位后受污染。