北方華創(chuàng)微電子發(fā)布專利：承載裝置與半導(dǎo)體工藝設(shè)備
中國企業(yè)北京北方華創(chuàng)微電子裝備公布“承載裝置及半導(dǎo)體工藝設(shè)備”發(fā)明專利（專利號：CN117987807A），申請日為2024年5月7日。該專利提供了一種新型承載裝置和配套半導(dǎo)體工藝設(shè)備， 應(yīng)用在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。
此項新實用新型的承載裝置主要由承載件、第一氣道和限位組件組成。承載件設(shè)有晶圓容納槽，底部為承載面，第一氣道的出氣口設(shè)在此面上，用于通氣使晶圓保持懸浮狀態(tài)。同時，承載件邊緣設(shè)置有多個滑道，環(huán)繞著容納槽排列，內(nèi)部還設(shè)有多個第二氣道，與滑道相連。而限位組件則包含多個與晶圓外緣周面接觸的限位件，這些限位件可以沿著滑道滑動，通過控制第二氣道的氣流方向來調(diào)整其位置。
此外，該專利還提出了一種配套的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其中就包括了上述承載裝置。這種設(shè)計能有效解決因托盤與晶圓間間隙不均導(dǎo)致的晶圓膜厚不均等問題。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
52文章
5124瀏覽量
129180 -
半導(dǎo)體技術(shù)
+關(guān)注
關(guān)注
3文章
241瀏覽量
61178
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦
新凱來炸場，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備迭代，加速破解先進(jìn)工藝
的SEMICON China 大會上，新凱來展臺現(xiàn)場火爆全場成為一道風(fēng)景，北方華創(chuàng)、中微公司相繼發(fā)布新品，國產(chǎn)半導(dǎo)體
半導(dǎo)體企業(yè)2024年業(yè)績預(yù)告：AI落地引行業(yè)變革，海光信息、北方華創(chuàng)凈利潤飆漲5成
新興產(chǎn)業(yè)也迎來快速發(fā)展。 ? 那么，半導(dǎo)體企業(yè)在2024年的發(fā)展情況如何呢？電子發(fā)燒友網(wǎng)整理了北方華創(chuàng)、甬矽
北方華創(chuàng)躍居全球半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商第六位
。 不過，北方華創(chuàng)憑借其在刻蝕、薄膜沉積和清洗設(shè)備方面的專業(yè)技能，其全球排名從第十位升至第六位。 2024年半導(dǎo)體
北京市最值得去的十家半導(dǎo)體芯片公司
（Yamatake Semiconductor）
領(lǐng)域 ：半導(dǎo)體設(shè)備
亮點(diǎn) ：全球領(lǐng)先的晶圓加工設(shè)備供應(yīng)商，產(chǎn)品包括干法去膠、刻蝕設(shè)備等，2024年科
發(fā)表于 03-05 19:37
半導(dǎo)體設(shè)備為什么要安裝防震裝置？
半導(dǎo)體設(shè)備安裝防震裝置主要有以下幾方面原因：一、高精度加工要求1,光刻工藝(1)光刻是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟，其精度要求極高。例如，在芯片制造
半導(dǎo)體設(shè)備在安裝防震裝置需要注意哪些事項？
1,設(shè)備特性評估(1)重量和重心分布：首先需要精確測量半導(dǎo)體設(shè)備的重量，因為不同的防震裝置有不同的承載能力。例如，空氣彈簧隔振器和鋼絲繩隔振
半導(dǎo)體新建項目潔凈室工藝設(shè)備泊蘇防微振平臺施工流程
半導(dǎo)體新建項目潔凈室工藝設(shè)備泊蘇防微振平臺施工流程1．引言近年來高科技產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)經(jīng)濟(jì)發(fā)展上有著舉足輕重的作用，半導(dǎo)體晶片、TFT-LCD平面顯示等大型的廠房也在國內(nèi)不斷的興建，規(guī)模也在不斷的擴(kuò)大
國產(chǎn)半導(dǎo)體展望:中微、盛美、北方華創(chuàng)引領(lǐng)國產(chǎn)化加速
近日，中微公司、盛美上海、北方華創(chuàng)這三大國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)相繼發(fā)布了2024年財報預(yù)測及最新
國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商，刷新成績單
來源： 全球半導(dǎo)體觀察 近日，中微公司、北方華創(chuàng)、盛美半導(dǎo)體這三家半導(dǎo)體頭部
華進(jìn)半導(dǎo)體榮獲中國專利優(yōu)秀獎
近日，國家知識產(chǎn)權(quán)局正式發(fā)布第二十五屆中國專利獎評選通知，華進(jìn)半導(dǎo)體一項名為“CN202010426007.5一種晶圓級芯片結(jié)構(gòu)多芯片堆疊互連結(jié)構(gòu)及制備方法”的
半導(dǎo)體企業(yè)回應(yīng)美國出口管制 多家A股公司談實體清單影響
日前，美國又一次以國家安全為借口，進(jìn)一步加大了對我國半導(dǎo)體出口的限制措施。將136家中國實體列入“實體清單”，并對24種半導(dǎo)體制造設(shè)備、3種軟件工具和HBM芯片出口增加限制。比如北方
中國半導(dǎo)體專利申請激增，萬年芯134項專利深耕行業(yè)
，及外界對中國微電子行業(yè)施加重大限制的背景下，半導(dǎo)體專利逆向增長的趨勢體現(xiàn)了我國科技實力的提升，其中萬年芯微電子擁有134項國內(nèi)專利，成為國內(nèi)半導(dǎo)體
北方華創(chuàng)自研射頻電源批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品
近日，北方華創(chuàng)在互動平臺宣布了一項重要進(jìn)展：公司自主研發(fā)的射頻電源已成功批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品中，標(biāo)志著其在半導(dǎo)體核心部件國產(chǎn)化道路上邁出了堅實的一步。隨著國內(nèi)零部件供應(yīng)商能力的顯著提升，
華芯微電子取得一種過流保護(hù)電路專利
創(chuàng)新引領(lǐng)，技術(shù)突破！蘇州華芯微電子股份有限公司近日榮獲《一種過流保護(hù)電路》發(fā)明專利，標(biāo)志著公司在微電子領(lǐng)域再攀新高峰！
惠然微電子全自主研發(fā)半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備CD-SEM出機(jī)
在半導(dǎo)體制造的浩瀚領(lǐng)域中，每一步工序都至關(guān)重要。近日，惠然微電子傳來喜訊，公司成功研制并順利出機(jī)全自主研發(fā)的首臺半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（CD-SEM），標(biāo)志著這一在
工商網(wǎng)監(jiān)
評論