中微公司公布其2024年第一季度業(yè)績報告，營業(yè)收入達16.05億元人民幣，同比上漲31.23%，歸屬于上市公司股東的凈利潤為2.49億元，同比減少約9.53%。

利潤下滑的主要原因是非經(jīng)常性損益轉(zhuǎn)為虧損，導致同比減少0.61億元。其中，刻蝕設備業(yè)務收入達到13.35億元，同比增幅高達64.05%，占總營收比例從66.55%大幅上升至83.20%。公司刻蝕設備產(chǎn)量的提升，以及期末期初庫存商品的增長為未來的收入奠定堅實基礎。

然而，受到終端市場波動影響，MOCVD設備收入降至約0.38億元，同比減少約77.28%。此外，備品備件及服務收入也有所下滑，約為2.32億元，同比減少約4.38%。

在刻蝕設備研發(fā)方面，公司積極投入先進芯片制造技術(shù)中關(guān)鍵刻蝕設備的研發(fā)和驗證，目前已有多款設備在客戶產(chǎn)線上展開驗證。晶圓邊緣Bevel刻蝕設備已完成開發(fā)，即將進入客戶驗證階段，而TSV硅通孔刻蝕設備則在先進封裝和MEMS器件生產(chǎn)中得到廣泛應用。

在薄膜沉積設備研發(fā)方面，公司已有多款設備產(chǎn)品進入市場，部分設備已獲得重復性訂單，其他多個關(guān)鍵薄膜沉積設備研發(fā)項目正穩(wěn)步推進。

公司的鎢系列薄膜沉積產(chǎn)品已覆蓋存儲器件所有鎢應用，并已完成多家邏輯和存儲客戶對CVD/HAR/ALDW鎢設備的驗證，成功取得客戶訂單。近期，公司還計劃推出多款CVD和ALD設備，以擴大薄膜設備的覆蓋范圍，進一步開拓市場。

在MOCVD設備研發(fā)方面，用于碳化硅功率器件外延生產(chǎn)的設備已于本季度交付客戶進行驗證測試；制造Micro-LED應用的新型MOCVD設備也已在客戶端進行驗證測試。