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實現(xiàn)電子皮膚溫度預(yù)警的柔性可穿戴長波紅外光熱電探測器

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-04-15 09:05 ? 次閱讀

電子皮膚具有無需身體接觸即可感知熱刺激的能力,將為智能機器人和增強現(xiàn)實等應(yīng)用帶來創(chuàng)新的互動體驗。非接觸式熱探測的實現(xiàn)(對熱和冷的刺激都有反應(yīng)),主要依賴于在長波長紅外工作的柔性紅外探測器來捕獲自發(fā)熱輻射。這類應(yīng)用對探測器的光熱探測性能和柔性程度均提出嚴(yán)格的要求。

據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所催化基礎(chǔ)國家重點實驗室熱電材料與器件研究團(tuán)隊開發(fā)出柔性可穿戴長波紅外光熱電探測器,并將該光熱探測器用于電子皮膚非接觸溫度感知。相關(guān)研究成果以“Touchless thermosensation enabled by flexible photothermoelectric detector for temperature prewarning function of electronic skin ”為題,發(fā)表在Advanced Materials期刊上。該研究通訊作者為姜鵬研究員和陸曉偉副研究員。

光熱電探測器主要基于光熱、熱電兩個能量轉(zhuǎn)換過程,可在無需制冷、無需偏置電壓、無接觸的條件下實現(xiàn)對長波紅外輻射(8μm至14 μm)的靈敏探測。該研究團(tuán)隊在前期對光熱電探測器相關(guān)研究的基礎(chǔ)上,在具有長波紅外吸收能力的柔性聚酰亞胺(PI)襯底上構(gòu)建了Te/CuTe熱電異質(zhì)結(jié),從而制備出高靈敏度、柔性、可穿戴的長波紅外光熱電探測器。

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圖1 制備可優(yōu)化Te熱電性能的多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)

首先,研究人員在制備了可優(yōu)化Te熱電性能的多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)(如圖1)后,探究Te/CuTe多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)在聚酰亞胺襯底上的紅外吸收性能,相關(guān)結(jié)果如圖2所示。接著,研究人員表征了Te/CuTe多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)在聚酰亞胺襯底上的長波紅外探測性能,相關(guān)結(jié)果如圖3所示。Te/CuTe多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)一方面可以提升復(fù)合薄膜的熱電功率因子,起到降低器件噪音的作用;另一方面可以通過降低其光學(xué)反射損耗,并將其光學(xué)反射極小值與聚酰亞胺吸收峰對齊,增強光熱電耦合,提升器件靈敏度。

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圖2 通過抑制反射損耗來優(yōu)化光吸收

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圖3 Te/CuTe多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)的長波紅外探測性能

隨后,研究人員利用犧牲層輔助微納加工技術(shù)在柔性聚酰亞胺襯底上制備了基于Te/CuTe多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)的熱電堆探測器陣列(4 × 4)。圖4a和圖4b分別展示了所制備的熱電堆陣列在彎曲和平坦?fàn)顟B(tài)下的照片。在非接觸式溫度感知測試中,當(dāng)目標(biāo)溫度從零下50°C上升至110°C,所制備的柔性可穿戴紅外熱電堆陣列靈敏度均優(yōu)于商業(yè)剛性熱電堆,溫度分辨能力可達(dá)0.05°C。

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圖4 柔性可穿戴紅外熱電堆陣列,可用于空間分辨非接觸式熱探測

以此為基礎(chǔ),該研究團(tuán)隊利用該紅外探測器在接近輻射源過程中響應(yīng)電壓的斜率變化,開發(fā)了動態(tài)溫度預(yù)警系統(tǒng),使得軟體機械手可對熱源進(jìn)行預(yù)先判定,相關(guān)實驗演示如圖5所示。

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圖5 柔性可穿戴紅外探測器在軟體機器人溫度預(yù)警功能中的應(yīng)用演示

這項研究為在仿生觸覺系統(tǒng)中引入紅外探測技術(shù)提供了可行的解決方案,在機器人交互感知、虛擬現(xiàn)實等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。

文章鏈接:

https://doi.org/10.1002/adma.202313911



審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:利用柔性可穿戴長波紅外光熱電探測器,實現(xiàn)電子皮膚溫度預(yù)警

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