傳感器是人形機器人感知層的關鍵，基于MEMS工藝的力控、觸覺、慣性傳感器有望充分受益。 ①人形機器人將更重視感知層和交互層，傳感器的重要性凸顯。在智能機器人中，傳感器用量大，成本占比高，特斯拉optimus機器人上各類傳感器成本占比接近30%。 ②人形機器人即將迎來快速發展階段，傳感器將在此過程中充分受益；其中力控、觸覺、慣性三類傳感器的成本較高，且國內外在高端產品的技術水平上仍存在較大差距。MEMS傳感器由于其高集成性、小體積、規模化生產成本低等諸多優勢，是應用于機器人傳感器的上佳解決方案之一。 六維力傳感器是機器人精準力控的優選方案，技術壁壘較高，我國正快速追趕世界先進水平。 ①力/力矩傳感器是機器人實現力感知的重要途徑。人形機器人通過主動力控實現“觸覺”感知，以力傳感器為主的力控是機器人精準力控的優選。而六維力傳感器是維度最高的力覺傳感器，能給出最為全面精準的力覺信息。

②MEMS有望加速替代金屬箔片式力傳感器。從技術路線看，當前六維力以金屬箔片式為主，但這類產品存在在人工成本高，效率低等缺陷，相比之下，硅基MEMS式成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產，未來有望成為主流。 ③海外先發優勢明顯，國內企業快速追趕。目前ATI等海外企業主導全球市場，我國的六維力傳感器行業起步較晚；受制于維間耦合和標定檢測等技術壁壘，目前仍處于產業早期，2022年市場規模僅約2.4億元。以坤維科技、藍點觸控、南寧宇立等為代表的民族品牌正快速實現六維力傳感器的國產化和高端化；其中，坤維科技已成功自主研發量產準度高于0.5%的六維力傳感器，目前在國內市占率超50%。 柔性觸覺傳感器有望進一步強化機器人感知能力，目前處于產業化早期，成長空間廣闊。 ①柔性觸覺傳感器有望升級機器人感知能力。柔性觸覺傳感器相比傳統的剛性傳感器，具備可彎折、延展性等特質，可廣泛應用于醫療保健、消費電子、工業等領域。人形機器人所需的“電子皮膚”即使用柔性材料制備而成的陣列式觸覺傳感器，有望使機器人具備多物理量（溫度、力、粗糙度等）感知能力，幫助機器人實現精細操作。根據其感應原理，主要可分為壓電式、壓阻式、電容式觸覺傳感器。 ②預計2028年全球柔性傳感器市場空間超500億元，國內增速有望大幅高于海外。根據漢威科技微信公眾號，2021-2028 年全球柔性傳感器市場的年復合增長率達6.8%，預計 2028 年可達84.7 億美元；國內市場，2022年中國柔性傳感器行業市場規模為21.12億元，2017-2022年CAGR超過23%，其中消費電子、醫療為主要需求來源。

③海外龍頭占據優勢，國內企業加速追趕。隨著MEMS技術、電子印刷工藝、3D打印技術等加工工藝的升級，“電子皮膚”有望向高密度、高靈敏、快響應、多功能、高集成的方向發展。競爭格局方面，Novasentis、Tekscan、JDI等海外企業市占率仍然居于前位，根據QY Research數據，全球前八大柔性觸覺傳感器企業2022年占據57.1%的市場份額，市場集中度較高；國內企業中，能斯達（漢威科技子公司）、帕西尼傳感、力感科技等諸多公司均有柔性傳感器生產布局，但均處于早期；人形機器人的需求驅動有望加速國產品牌技術進階。 慣性傳感器助力人形機器人實現姿態控制、導航定位，高性能傳感器的國產替代空間巨大 ①MEMS慣性傳感器具備體積小、功耗低、集成能力強等優勢，在人形機器人領域適用性較高。利用IMU（慣性測量單元） 能夠實時測量機器人的角速度和加速度，從而幫助機器人維持穩定的姿態和平衡，結合GPS或衛星定位，可實現精確的導航和定位。按照精度由高到低，慣性傳感器分為戰略級、導航級、戰術級和消費級，預計人形機器人所使用的IMU與L3級別智能駕駛精度要求接近，通常適配戰術級及精度接近戰術級的消費級產品。 ②2021年全球MEMS慣性傳感器市場規模約35億美元，預計將維持8-10%的年化增速。其中，高性能MEMS慣性傳感器（除消費級外的MEMS慣性傳感器）約占整體的20%。我們預計高性能慣性傳感器受益于智能駕駛、機器人、物聯網等下游高速發展，增速應高于整體行業水平。 ③MEMS慣性傳感器競爭格局分析。2021年全球MEMS慣性傳感器CR5達到85%以上。海外頭部廠商博世、霍尼韋爾等多采用IDM模式；芯動聯科等國內生產商多采用Fabless模式。未來部分國內消費級MEMS慣性傳感器廠商有望切入高性能領域，加速高性能MEMS慣性傳感器國產化進程。 人形機器人傳感器市場規模敏感性測算：六維力/柔性/慣性傳感器對應市場空間約為103/103/62億元 ①假設條件：機器人產業尚處于發展初期，六維力傳感器和高性能MEMS慣性傳感器、柔性觸覺傳感器的價格仍然較高。隨著下游高精度力控、慣性應用場景不斷擴充，特別是即將爆發的人形機器人所帶來的需求，上述類型傳感器或將迎來規模化應用和量產機遇，成本有望大幅降低并實現高速增長。

②結論：中性假設下，預計人形機器人帶動主要三類傳感器需求量2030年有望達到268億元。根據我們測算，保守/中性/樂觀情況下，2030年人形機器人產量有望達到約72萬/103萬/146萬臺，屆時六維力傳感器市場規模分別約為72/103/146億元；柔性觸覺傳感器市場規模分別約為72/103/146億元；IMU的市場規模分別約為43/62/87億元。 ③建議關注：力傳感器標的柯力傳感、中航電測; 柔性觸覺傳感器標的漢威科技；慣性傳感器標的芯動聯科、華依科技 風險提示：人工智能&大模型技術發展不及預期、人形機器人商業化進程不及預期、行業規模測算偏差風險、研報使用的信息存在更新不及時風險等。

正文分析

審核編輯 黃宇