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如何利用關聯(lián)量子傳感技術(shù)實現(xiàn)點缺陷的三維納米成像

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-01-09 09:28 ? 次閱讀

近期,中國科學技術(shù)大學、中國科學院微觀磁共振重點實驗室杜江峰、王亞等人在量子精密測量領域取得重要進展,提出基于信號關聯(lián)的新量子傳感范式,實現(xiàn)對金剛石內(nèi)點缺陷的高精度成像,并實時觀測了點缺陷的電荷動力學。這項研究成果以“Correlated sensing with a solid-state quantum multisensor system for atomic-scale structural analysis”為題,于1月5日在線發(fā)表在《Nature Photonics》上。

最近二十多年時間里,量子傳感的發(fā)展已經(jīng)使得很多物理量的測量技術(shù)取得了革命性的進展。比如基于納米尺度的金剛石氮-空位色心量子傳感器有望實現(xiàn)單分子的結(jié)構(gòu)解析(杜江峰院士團隊前期工作:Nature Physics10, 21 (2014); Science 347, 1135 (2015); Nature Methods15, 697 (2018))。以磁測量為例,當前實現(xiàn)結(jié)構(gòu)解析的量子傳感范式需要對標記的自旋探測目標進行量子操控。然而自然界中的很多物理現(xiàn)象既不包含自旋也無法直接操控,如半導體中的電荷動力學導致的隨機電報信號等。更重要的是,當多個探測對象信號重疊相互干擾,單個量子傳感器將無法對信號進行有效提取與分析。

為此本工作提出了一種新的量子傳感范式,即利用多個量子傳感器之間的信號關聯(lián),提升對復雜對象的解析能力和重構(gòu)精度。研究團隊基于自主發(fā)展的氮-空位色心制備技術(shù),可控制備出相距約200納米的三個氮-空位色心作為量子傳感系統(tǒng),通過對隨機電場探測展示了這種新的量子傳感范式。

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(a)實驗體系的示意圖,小圖為本工作中使用的三色心體系的超分辨成像;(b)共振熒光激發(fā)譜的譜峰位置漲落,對應了每個色心處的電場漲落;(c)利用三個色心的電場漲落信號之間的關聯(lián)可以分辨出不同的缺陷;(d)量子定位系統(tǒng)的示意圖;(e)在三個色心周圍定位出的16個點缺陷。

金剛石是一種性能優(yōu)異的寬禁帶半導體材料,材料中點缺陷的電荷動力學會帶來隨機的電場噪聲。本工作中,利用金剛石氮-空位色心激發(fā)態(tài)的直流斯塔克效應來實現(xiàn)對電場的傳感。當某個點缺陷的電荷狀態(tài)發(fā)生改變時,三個氮-空位色心可以同時探測到因電荷變化而引起的電場變化。利用三個色心間電場同時變化的關聯(lián)特征,可以從雜亂無章的漲落電場中解析出每個點缺陷對應的電場。并且由于每個點缺陷和三個氮-空位色心的相對空間位置不同,就可以根據(jù)每個氮-空位色心所感受到的電場方向和大小的不同,來精確定位出點缺陷的空間位置。使用這種類似于衛(wèi)星定位的量子定位技術(shù),研究團隊成功對微米范圍內(nèi)16個點缺陷進行了定位,定位精度最高達到1.7納米。基于這種關聯(lián)分辨和精確定位的能力,研究團隊還實現(xiàn)了對每個點缺陷電荷動力學的原位實時探測,為研究體材料內(nèi)部點缺陷的性質(zhì)提供了新的方法。

這一成果展示了基于量子技術(shù)的超高靈敏度缺陷探測,可對0.01ppb級別的缺陷濃度進行探測。這要比目前最靈敏方法的探測極限提升兩個量級以上,有望為當前十納米以下芯片中的缺陷檢測提供一種強有力的技術(shù)手段。

中國科學院微觀磁共振重點實驗室特任副研究員季文韜、博士研究生劉昭昕與郭宇航為本工作共同第一作者,杜江峰院士、王亞教授為共同通訊作者。此項研究得到了國家自然科學基金委、中國科學院、科技部和安徽省的資助。






審核編輯:劉清

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文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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