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MEMS熱式氣體流量傳感器及其應用選型

深圳市汽車電子行業(yè)協(xié)會 ? 來源:煒盛科技 ? 2023-12-28 16:26 ? 次閱讀

熱式氣體流量傳感器簡介

熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學原理的一類傳感器,利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進行流量監(jiān)測。

流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成,熱偶堆對稱分布在加熱電阻的上、下游,加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。

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加熱電阻對熱偶堆的熱結進行加熱,熱偶堆熱結和冷結之間的溫度梯度導致輸出電壓。當流體靜止時,加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的;當流體從右向左流動時等溫線向左側(cè)傾斜,加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同,溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定 。

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由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關,因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。

熱式氣體流量傳感器特點及應用

熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構造來準確地測量氣體的質(zhì)量流量,具有結構簡單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點,在工業(yè)過程控制、醫(yī)療設備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測設備等領域有著廣泛的應用。

新一代MEMS傳感器芯片技術

精度高,響應速度快,重復性好

可精確測量極小流量

經(jīng)過完全校準和溫度補償

熱式氣體流量傳感器選型

熱式氣體流量傳感器是一種廣泛應用于氣體流量測量領域的設備,具有精度高、穩(wěn)定性好、響應速度快等優(yōu)點。在選型時,需要根據(jù)實際應用場景、氣體性質(zhì)等方面進行綜合考慮。

不同的應用場景對氣體流量傳感器的需求不同。例如,在工業(yè)生產(chǎn)過程中,需要對氣體流量進行精確控制,以確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量;而在環(huán)保監(jiān)測領域,需要測量各種氣體污染物排放量,以評估環(huán)境污染程度。因此,在選型時,需要明確實際應用場景,以便選擇合適的傳感器。

其次,我們需要考慮氣體性質(zhì)。不同的氣體具有不同的物理性質(zhì)和化學性質(zhì),對傳感器的測量精度和穩(wěn)定性都會產(chǎn)生影響。例如,有些氣體具有腐蝕性,會對傳感器造成損害;有些氣體密度較小,容易在管道中產(chǎn)生渦流和紊流,影響測量精度。因此,在選型時需要充分了解氣體性質(zhì),以便選擇適合的氣體流量傳感器。

煒盛科技流量傳感器是基于先進的MEMS硅工藝制成的熱式質(zhì)量流量傳感器,具有功耗低、體積小、無需穩(wěn)壓補償、抗沖擊、穩(wěn)定可靠等特點,為醫(yī)療、儀器、自動化、燃氣計量等領域的氣體流量檢測提供傳感器解決方案。








審核編輯:劉清

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原文標題:【會員風采】煒盛科技|MEMS熱式氣體流量傳感器及其應用選型

文章出處:【微信號:qidianxiehui,微信公眾號:深圳市汽車電子行業(yè)協(xié)會】歡迎添加關注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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