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激光驅(qū)動(dòng)白光光源LDLS產(chǎn)品系列

jf_64961214 ? 來(lái)源:jf_64961214 ? 作者:jf_64961214 ? 2023-12-15 06:40 ? 次閱讀

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對(duì)于生命科學(xué)和材料科學(xué)的研究人員來(lái)說(shuō),一個(gè)可以提供超高亮度和寬帶光譜的光源是必不可少的。以前,為了達(dá)到寬光譜的需要,多采用復(fù)合光源的方式,將氘燈、氙燈、鹵鎢等等等集成在一起作為燈組來(lái)使用。但是,集成這些燈來(lái)實(shí)現(xiàn)寬光譜的燈組極大地增加了成本,影響了使用效率。這些傳統(tǒng)的使用電極驅(qū)動(dòng)的燈源, 由于高溫的燒蝕,燈的壽命很短,需要經(jīng)常更換燈泡。為了解決燈泡壽命過(guò)短的問(wèn)題,Energetiq公司創(chuàng)造性地研發(fā)了激光驅(qū)動(dòng)等離子體氣體發(fā)光的技術(shù),即激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)(LDLS?=Laser-Driven Light Source)。這個(gè)技術(shù)不但解決了燈泡壽命短的問(wèn)題,還同時(shí)大幅提高了氣體燃燒溫度,從而輸出光譜范圍拓展到170nm 到2100nm ,輻射亮度和穩(wěn)定度也極大提升,使LDLS光源成為傳統(tǒng)電極驅(qū)動(dòng)燈組光源的完美替代品。

激光驅(qū)動(dòng)白光光源(Laser Driven Light Source),簡(jiǎn)稱LDLS,是一款利用高能聚焦激光束來(lái)驅(qū)動(dòng)氙等離子體的超高亮寬光譜光源。該系列產(chǎn)品不僅可以在170 nm至2100 nm的光譜范圍內(nèi)提供超高發(fā)光亮度,比如在DUV的亮度就是傳統(tǒng)光源如氙燈的10倍以上,而且整個(gè)光源的發(fā)光壽命相比較于傳統(tǒng)光源也高出了整整一個(gè)數(shù)量級(jí)(>9000 h)。

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圖2 LDLS及相關(guān)模塊化產(chǎn)品一覽

根據(jù)使用環(huán)境和輸出功率的不同需求,可以選擇不同型號(hào)的LDLS光源進(jìn)行匹配。其中,LDLS光源提供自由空間輸出或光纖耦合輸出的緊湊型EQ-99系列、自由空間輸出的EQ-9系列、高亮度自由空間輸出的EQ-77系列、高功率應(yīng)用的超高亮度EQ-400系列。(見(jiàn)表2)

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表2 LDLS光源主要產(chǎn)品

此外還提供高亮度輸出波長(zhǎng)可調(diào)窄光譜LDTLS系列(見(jiàn)表3),以及2022年還發(fā)布了新的可以精準(zhǔn)控制輸出光譜特性的CES光源(Chromatiq Spectral EngineTM)點(diǎn)擊此處可了解該產(chǎn)品。

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表3 LDTLS系列光源主要產(chǎn)品

審核編輯:湯梓紅
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