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韓國SKMP開發出高厚度KrF光刻膠,可助力3D NAND閃存制造

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-11-29 10:02 ? 次閱讀

sk集團于2020年以400億韓元收購錦湖石化的電子材料事業后,新成立的子公司sk materials performance (skmp)開發出了得到SK海力士的性能驗證的高厚度KrF光刻膠。這將有助于sk海力士開發3d nand閃存技術。

據悉,skmp開發的新型KrF光刻膠的厚度為14至15米,與東進半導體(DONGJIN SEMICHEM)向三星提供的產品相似。日本jsr公司的類似產品厚度只有10微米。

光刻膠的厚度有助于提高3d nand閃存的工藝效率。但是厚度的提高意味著技術難度的提高。因為化學材料的黏著力會使涂層表面變得粗糙。

隨著SKMP加入競爭行列,sk海力士可以利用該產品生產238段3d nand閃存。skmp很有可能取代日本jsr的主導地位,成為skmp的主要供應商。

目前,sk海力士238層3d nand閃存晶圓的月生產能力約為5000個,今后有望進一步提高生產能力,帶動skmp的光刻膠銷售。

sk海力士計劃于2025年批量生產1tb容量的tlc 4d nand產品,該產品于2023年8月在世界上首次推出了321層nand閃存試制品。

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