圣彼得堡近日創(chuàng)建了一個國內(nèi)光刻綜合體，包括一臺在基板上進(jìn)行無掩模圖像采集和硅等離子化學(xué)蝕刻的設(shè)備。據(jù)開發(fā)人員稱，這臺用于無掩模納米光刻的機(jī)器成本約為500萬盧布（約合36.74萬人民幣），而國外同類產(chǎn)品的價值高達(dá)數(shù)十億盧布。

圣彼得堡彼得大帝理工大學(xué)（SPbPU）的專家表示，他們已經(jīng)成功開發(fā)了兩套用于生產(chǎn)微電子納米結(jié)構(gòu)的裝置，這將有助于解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域的技術(shù)主權(quán)問題。這個設(shè)備綜合體包括用于無掩模納米光刻和硅等離子體化學(xué)蝕刻的設(shè)備。

第一種裝置用于在基板上獲取圖像，無需使用特殊的掩模。開發(fā)人員表示，與傳統(tǒng)光刻技術(shù)相比，這項技術(shù)在金錢和時間方面更加經(jīng)濟(jì)實惠，因為傳統(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專門的光罩來獲得圖像。這個裝置通過專門的軟件控制，實現(xiàn)了完全自動化。

第二種裝置利用第一階段中創(chuàng)建的基材上的圖案。它的主要用途是直接形成納米結(jié)構(gòu)，但也可以創(chuàng)建硅膜，例如用于船舶表壓傳感器等應(yīng)用。

據(jù)開發(fā)人員表示，與傳統(tǒng)光刻技術(shù)相比，X射線***在金錢和時間方面更加經(jīng)濟(jì)實惠，因為傳統(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專門的光罩來獲得圖像。而X射線***則無需光掩模就能生產(chǎn)芯片。

據(jù)報道，這類裝置的估計成本約為500萬盧布，相當(dāng)于許多常規(guī)汽車的價格。而國外同類設(shè)備的成本據(jù)稱要比該項目研發(fā)的設(shè)備高出數(shù)十倍，預(yù)計在100至130億盧布之間。

該項目負(fù)責(zé)人表示，使用這種裝置創(chuàng)建的膜在可靠性和靈敏度方面優(yōu)于液體或激光蝕刻生產(chǎn)的膜。他們還強(qiáng)調(diào)，這是完全國產(chǎn)的產(chǎn)品。

關(guān)于俄羅斯自研的蝕刻機(jī)的具體成本并未透露。

編輯：黃飛