實(shí)驗(yàn)名稱：基于MEMS工藝柔性基底磁通門傳感器性能測(cè)試與分析

本文主要搭建了一套磁通門性能測(cè)試系統(tǒng)，主要測(cè)試設(shè)備有：信號(hào)發(fā)生器、功率放大器、磁強(qiáng)計(jì)、電流表、磁通門傳感器、示波器等。

磁通門傳感器測(cè)試系統(tǒng)：

激勵(lì)信號(hào)由任意信號(hào)發(fā)生器33220A和功率放大器ATA-4011串聯(lián)產(chǎn)生。任意信號(hào)發(fā)生器可產(chǎn)生正弦波、方波、三角波、鋸齒波，也可以通過程序控制產(chǎn)生特殊形狀的波形。功率放大器ATA-4011帶寬可達(dá)到1MHz，最大提供2.82App的電流值，滿足測(cè)量需求。

為了測(cè)量激勵(lì)電流有效值，在激勵(lì)電路上串聯(lián)一個(gè)電流表，當(dāng)磁通門傳感器作為磁場(chǎng)傳感器時(shí)，被測(cè)磁場(chǎng)由直流電源激勵(lì)一個(gè)螺線管產(chǎn)生，為了標(biāo)定被測(cè)磁場(chǎng)的大小，在螺線管前串聯(lián)一個(gè)電流表測(cè)試螺線管電流。

基于MEMS工藝的柔性基底磁通門磁場(chǎng)傳感器

當(dāng)磁通門作為電流傳感器時(shí)，將柔性基底磁通門傳感器粘貼在一個(gè)圓柱形的支撐骨架上，使柔性基底傳感器鐵芯兩端緊挨以使磁路閉合，并將被測(cè)電流穿過支撐骨架中心。被測(cè)電流用直流電源提供，并串聯(lián)一個(gè)電流表用于標(biāo)定被測(cè)電流值，在磁通門的感應(yīng)線圈兩端接示波器對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行分析。

基于MEMS工藝的柔性基底磁通門電流傳感器

ATA-4011高壓功率放大器產(chǎn)品介紹：