Dage Quadra7介紹
作為Dage Quadra 系列中前沿的產品,Dage Quadra7擁有出色的亞微米級高分辨率和襯度,可實現細微缺陷清晰展現。
采用高功率(160kV 20W)X射線源技術,相較同類產品(15W)大大提升了X射線通量,在維持小焦點尺寸的同時提高了成像效率、襯度和信噪比。
在10W以內可實現0.1um的分辨率。
配有670萬像素的C-MOS平板探測器,幾何放大倍數可達2500倍。
JIMA卡專用于測量X射線系統的分辨率,以保證X射線系統在微米和納米焦點的圖像質量。
DageQuadra7 JIMA卡實測可達到最高的分辨0.4um。
失效分析:細微缺陷及T角度觀察Via
失效分析:自動測量孔洞率與球徑及數據導出
特殊能力:輻射累積測試
Dage Quadra7可通過曝光距離、管電壓、管功率、暴露時間等參數計算得到樣品所受輻射劑量。方便進行輻射累積實驗及芯片軟失效分析。
劑量單位為拉德(rad),1rad=0.01Gy
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原文標題:季豐先進2DX-ray分析能力介紹
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