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超光滑!竟如此光滑——白光干涉儀超光滑鏡片應用

優可測 ? 2023-06-02 09:31 ? 次閱讀

精密光學領域,一般把Ra值<0.3nm的元件稱為超光滑(超滑)元件。其極低的粗糙度和無損的高質量表面,在光學系統中可以有效的減少光的散射,在例如激光陀螺儀、高功率激光、超精密光學等領域,有廣泛的應用。

隨著一些行業對超光滑元件的使用越來越多,推進了表面加工技術快速發展的同時,也對其亞納米級的粗糙度檢測提出了更迫切的需求。

近來優可測白光干涉儀AM系列已為多家超光滑企業提供無接觸、無損傷的粗糙度測量方案。在此分享給大家,一起來看看超光滑元件究竟有多光滑。

— —

樣品一

wKgZomR4OTqAXNgxAAOTfpbgM5Q567.png粗糙度Sa=0.137nm(由優可測AM系列NA-500拍攝)

樣品二

wKgaomR4OUqAJHiIACOsAoZxIQ0690.png粗糙度Sa=0.082nm(由優可測AM系列NA-500拍攝)

粗糙度Sa值分別為0.082nm、0.137nm!!!

相當于5km見方的空間范圍內僅芝麻粒大小的凹凸起伏!

— —

優可測白光干涉儀AM系列NA-500可以觀察到如此細膩的微觀世界,主要得益于以下幾點:

1.使用高精度壓電陶瓷,通過精確控制電壓信號產生微量位移;

2.500萬像素的高感光度傳感器及“弱光提取算法”,精確采集點云數據;

3.軟件獨特的“相位展開”圖像采集功能,有效抑制系統噪聲。

另外優可測Atometrics AM-7000系列白光干涉儀掃描速度最快可達400μm/s,如上結果僅用3-5秒鐘即可獲得!

— —

如果您對相關應用感興趣,可以隨時咨詢。

由專業工程師解答,提供全國范圍內的免費測試服務!

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