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      納米級測量用的有哪些儀器？

      中圖儀器 ? 2023-04-20 14:38 ? 次閱讀

      白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡同為微納米級表面光學分析儀器，都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，適用范圍廣，可測多種類型樣品的表面微細結構。

      poYBAGP9Xb-AdX86AAK8Cuv4qPM253.pngVT6000共聚焦顯微鏡

      白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品，尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數值的準確；（SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜，對于測量物體整個區域表面情況，還可以使用自動拼接測量、定位自動多區域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環反饋，在樣品表面抽取多個區域測量，就可以快速實現大區域、高精度的測量，從而對樣品進行評估分析。）

      poYBAGP0lnuAHBPoAAGG1QtL8uE754.png

      超光滑透鏡測量

      pYYBAGJp-qmAV0BlAABxoda6XQU206.jpg

      自動拼接功能

      pYYBAGP1wDCAfG9MAAqbcMl0dv8905.png

      大尺寸樣品拼接測量

      而共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣，擅長微納級粗糙輪廓的檢測，雖在檢測分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀察。

      pYYBAGRAqr-AE-gCAAHIENTdy7Q408.png
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