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納米級測量用的有哪些儀器?

中圖儀器 ? 2023-04-20 14:38 ? 次閱讀

白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡同為微納米級表面光學分析儀器,都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點,都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,適用范圍廣,可測多種類型樣品的表面微細結構。

poYBAGP9Xb-AdX86AAK8Cuv4qPM253.pngVT6000共聚焦顯微鏡

白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品,尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數值的準確;(SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜,對于測量物體整個區域表面情況,還可以使用自動拼接測量、定位自動多區域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環反饋,在樣品表面抽取多個區域測量,就可以快速實現大區域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。)

poYBAGP0lnuAHBPoAAGG1QtL8uE754.png

超光滑透鏡測量

pYYBAGJp-qmAV0BlAABxoda6XQU206.jpg

自動拼接功能

pYYBAGP1wDCAfG9MAAqbcMl0dv8905.png

大尺寸樣品拼接測量

而共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣,擅長微納級粗糙輪廓的檢測,雖在檢測分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。

pYYBAGRAqr-AE-gCAAHIENTdy7Q408.png
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