PDMS具有有機硅橡膠的一系列特性。如無色、透明性好、粘度范圍寬、有效耐高低溫、抗輻射、低表面張力、高壓縮比、高絕緣性、高疏水性、高光澤、對材料惰性、化學和生理惰性等。它還具有很強的吸附性，容易吸附蛋白質和羅丹明B等疏水性小分子。這將引起PDMS的成分損失和表面性質的變化。其導熱系數低，焦耳熱不易散失，對非極性物質吸附能力強，易受環境污染，尤其是表面固有的高疏水性，極大地限制了微流控芯片的實用性。PDMS的交聯和固化是通過預聚物的聚合進行的。因此，PDMS仍然有大量的小分子預聚物，所以很難將水溶液引入PDMS微通道，也很難通過其自身的毛細管力引入,天然疏水性是PDMS最顯著的特征。

一般等離子體處理過的材料表面會有氧化作用或交聯作用。空氣、二氧化碳等各種氣體可以氧化PDMS等聚合物表面，產生含氧基團，而惰性氣體可以使PDMS表面產生自由基位點，從而活化聚合物表面。

當等離子體作用于固體表面時，發生刻蝕，即暴露的表面物質與原有的表面污染物生成揮發性氣態物質被去除，固體表面變得粗糙，形成許多微小的坑洼，增加了樣品的比表面積，提高了固體表面的潤濕性；PDMS的大部分鍵能是0~10eV，等離子體中的粒子能量是0~20eV。因此，固體表面暴露于等離子體后，材料表面的化學鍵得到足夠的能量被打斷，產生自由基，形成網狀交聯結構，增強了PDMS的表面活性。如果引入反應性氣體，被等離子體活化的物質表面與反應性氣體之間會發生一些復雜的化學反應，產生新的活性基團，如氨基、烴基、羧基等，對材料的表面活性產生顯著影響。

等離子體處理方法是在真空狀態下，氣體被高頻發生器電離產生等離子體(物質的第四態)。等離子體是一種電離的氣體狀物質，由一些電子被剝離后的原子和原子電離產生的正負電子組成。它是除了固體、液體和氣體之外的第四種物質狀態。這些高活性的微粒與被處理材料的表面相互作用，活化了惰性聚合物的表面，增強了其親水性，增強了界面的相互作用，使單層分子更容易擴散到其表面，從而修飾PDMS基體的表面，最終實現其與各種材料的鍵合。