氦質(zhì)譜檢漏儀激光器零件檢漏

上海伯東客戶某生產(chǎn)航天和半導(dǎo)體相關(guān)精密零件公司, 近日通過伯東推薦, 采購移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 主要用于激光器零件檢漏.

激光器零件檢漏: 應(yīng)用于航天的激光器零件, 中空夾層設(shè)計, 僅在兩端焊接密封, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.

氦質(zhì)譜檢漏儀激光器零件檢漏

激光器零件檢漏方法: 利用氦質(zhì)譜檢漏儀真空法對激光器零件進行檢漏, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
1. 激光器一端密封, 一端通過訂制夾具和波紋管與氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 連接

氦質(zhì)譜檢漏儀激光器零件檢漏

2. 在操作面板設(shè)置真空模式下漏率值, 啟動檢漏儀 ASM 390, 在兩端焊縫處噴氦氣, 如果有漏, 檢漏儀聲光報警并在面板上顯示當(dāng)前漏率值.

氦質(zhì)譜檢漏儀激光器零件檢漏

移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390漏率值單位提供多種類型

上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390

ASM 390

檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵
檢測氣體: 4He, 3He, H2
最小檢測漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速: 10 l/s
前級泵抽速: 35 m3/h

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