由上海建工四建集團(tuán)承建的臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機(jī)搬入儀式。這意味著,首臺ASML光刻機(jī)搬入,中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體自動化晶圓制造中心即將投入生產(chǎn);與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態(tài)度! 為了遏制中國科技發(fā)展,美方不僅施壓荷蘭光刻機(jī)制造商阿斯麥(ASML)禁止向我國出售14nm及以下工藝的DUV光刻機(jī),還一直試圖要求該公司禁止對華銷售部分舊款光刻機(jī),以及所有制造芯片所需的主流技術(shù)。 要知道,目前全球只有ASML能夠生產(chǎn)先進(jìn)的EUV光刻機(jī),但ASML的光刻機(jī)匯集了世界高端技術(shù)的結(jié)晶,其中自然用到了很多含有美國設(shè)備的技術(shù),所以ASML自由出貨被美方拿捏得死死的。 不過,現(xiàn)在傳來一則好消息,ASML針對自由出貨不愿意再妥協(xié)了——近日,由上海建工四建集團(tuán)承建的臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機(jī)搬入儀式。 這意味著,首臺ASML光刻機(jī)搬入,中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體自動化晶圓制造中心即將投入生產(chǎn);與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態(tài)度!


據(jù)悉,建設(shè)包括FAB生產(chǎn)廠房(含潔凈室)、OS生產(chǎn)調(diào)度及研發(fā)大樓、CB綜合樓、WH倉庫、CUB動力站等大型群體工程。其中,F(xiàn)AB生產(chǎn)廠房作為本工程最大規(guī)模單體,建筑面積達(dá)104085.98平方米。 待該項目全面達(dá)到預(yù)期產(chǎn)能后,可實現(xiàn)年產(chǎn)能約36萬片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圓片,主要生產(chǎn)MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件產(chǎn)品。同時,還將同步推動建成芯片設(shè)計、5G智能硬件和AI/IOT模塊設(shè)計的研發(fā)總部,助力上海成為國際一流的半導(dǎo)體和5G產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新高地。



原文標(biāo)題:首臺ASML光刻機(jī)搬入!中國首座12英寸車規(guī)級功率半導(dǎo)體晶圓廠將投產(chǎn)!
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