背景：

Metal Fill或者說(shuō)Dummy Metal對(duì)Timing是有影響的，在比較老的工藝、規(guī)模比較小的Design中影響是比較小的，甚至不考慮它們對(duì)于Timing的影響去流片也不是說(shuō)一定不行（當(dāng)然，如果有條件的話(huà)最好還是帶著Dummy GDS文件去做RC抽取，然后做STA的Signoff）。但是，而隨著工藝節(jié)點(diǎn)的縮小以及Design規(guī)模的增大，它對(duì)Timing的影響也變得逐漸不可忽略。

注：在Calibre中加的Dummy是小方塊的metal/via，它對(duì)Timing的影響相對(duì)較小，而在PR工具中加的Rect對(duì)Timing的影響相對(duì)比較大，PR工具中加完Metal Fill之后也能看到它對(duì)Timing的影響，還能做Timing aware的Metal fill insertion，這種在StarRC抽取RC的時(shí)候也能考慮它們的影響。

Dummy對(duì)Timing的影響：

如下圖所示是一個(gè)基于180nm工藝，非常大規(guī)模的幾百萬(wàn)門(mén)的設(shè)計(jì)在用Calibre產(chǎn)生Dummy GDS之后，不帶它和帶上它做寄生RC抽取做STA分析的結(jié)果對(duì)比：

不帶Dummy GDS的STA結(jié)果:

帶Dummy GDS的STA結(jié)果:

整個(gè)Design的規(guī)模比較大，帶上Dummy GDS去抽RC進(jìn)行STA之后，發(fā)現(xiàn)Setup和Hold都有變差。

對(duì)Setup WNS的影響在小數(shù)點(diǎn)第三位，WNS惡化了(1.314942-1.310551)/1.310551=0.34%

TNS惡化了(1.712446-1.695256)/1.695256=1.01%

對(duì)Hold WNS的影響也在小數(shù)點(diǎn)后第三位，WNS惡化了

(0.053709-0.052008)/0.052008=3.27%

TNS惡化了(0.363444-0.326634)/0.326634=11.27%

因此其實(shí)只要Setup/Hold的margin留的比較足，那么對(duì)于這個(gè)設(shè)計(jì)和這個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)而言不用Dummy GDS去抽RC做STA也是OK的。

但是保險(xiǎn)起見(jiàn)還是最好加上Dummy GDS去做Timing的Signoff，這樣比較安全。另外就是對(duì)于40/28nm工藝以及以下工藝節(jié)點(diǎn)，Dummy對(duì)于Timing的影響就比較大了，也是推薦加上Dummy GDS去做RC抽取、STA分析，然后根據(jù)STA結(jié)果做ECO。當(dāng)然現(xiàn)在的PR工具也可以調(diào)用ICV做Timing aware的Metal Fill Insertion的，如果Flow支持的話(huà)用這種方式自然是更好的。

審核編輯：湯梓紅