硅和鍺一樣是一種化學穩(wěn)定性好的優(yōu)良的紅外光學材料,按制備工藝可分為直拉單晶硅和區(qū)熔單晶硅;直拉單晶硅(CZ-Si)可以透過紅外1.5-8微米波長范圍,通常用于3-5μm波段的窗口鏡和透鏡。區(qū)熔單晶硅(FZ-Si)可用于1--16um波段,通常用于7-14μm波段,可用作長波紅外鏡頭窗口片。單晶硅的特性及光譜透過率如下表所示。
中波紅外光學系統(tǒng)(3-5um)領(lǐng)域硅是ZUI常用的材料,整體趨勢要求光學系統(tǒng)體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單,通常會在硅透鏡上使用非球面甚至衍射面;硅非球面、衍射面一直不容易加工,其原因是硅材料物理性能脆硬,加工過程中往往很容易出現(xiàn)崩邊等問題,表面光潔度以及面型精度也很難控制;同時加工刀具非常容易磨損,高昂的刀具成本也使得硅非球面、衍射面透鏡價格很高,使得硅非球面、衍射面一直停留在小數(shù)量樣品階段,不能得到大量的運用。
波長光電的工藝技術(shù)團隊經(jīng)過不斷嘗試,采用超精密加工技術(shù)成功攻克了這個難題,解決了硅表面加工非球面、衍射面的批量生產(chǎn)的困惑,實現(xiàn)可批量供貨的能力。降低中波制冷紅外變焦鏡頭產(chǎn)品開發(fā)成本。
審核編輯:湯梓紅
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原文標題:紅外光學系統(tǒng)中硅的非球面、衍射面加工技術(shù)
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