安裝加熱馬甲的前因

由于半導體生產常常需要使用各種化學氣體，這些氣體也會隨著工藝的過程，由真空泵從反應腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣，這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導體生產廠家都需要對工藝設備尾氣進行有效的處理，以減少對環境的污染。因此，在半導體制造機臺中，尾氣處理裝置是半導體加工中的必備工具。在等離子體干法刻蝕過程中，氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，經過在真空反應室內的一系列反應后，氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結晶，因此尾氣處理過程中結晶體會附著在排氣管的管壁上，極易對排氣管進行堵塞，同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不徹底，同時提高生產成本。

需要加熱馬甲的部門

DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用

通過升高管路工作溫度，減少管內介質結晶，避免管路堵塞，減少PM周期，提高產能。

加熱馬甲溫度要求

PVD：150°-170°（也有180°） ETCH：80°-120°

加熱馬甲常見問題（摩爾機電）

問題1：為什么是120度 不是90度 不是200度？

答：Display(面板) Etch部門以IPS和INVENIA 設備為例，常規設備工藝廢氣凝固點是80度和120度，所以一般設定120度。特例半導體行業存儲工藝PVD工藝需170度( O-ring得耐高溫全氟產品)，武漢某廠就使用180度（原因PUMPLINE彎頭比較多，同時管道尺寸多數為4寸-6寸）。而無錫某外資12寸FAB只需要150度。（此公司要求管道以6寸為主，新FAB管道多數為直管，老FAB最多2個45度彎頭）廈門某面板廠某些設備，現場實際情況，160度的情況下，管道結晶比較少，PM周期可以延長。

不過現在國內大多PVD 為150-170度，Etch 80-120度.

問題2：加熱帶是否均帶UPS電源？是否可以停電 停電有什么風險在？

答：沒必要一定配備UPS電源，停電后加熱系統停止工作，管內介質會加速結晶，但是短時間（2-3天內）不至于引起堵塞宕機，有充足的維修緩沖時間。

問題3：如何防止超溫一直加熱問題發生 假設有超溫一直加熱發生 有什么后果 業內是否有案例？

答：加熱設定和溫感反饋雙重溫控，溫度變化（低/高）、故障都有報警，無持續升溫案例發生。

問題4：排風系統是否需要安裝加熱夾套

答：廢氣經Scrubber處理大部分易結晶物質，且排風系統管徑相對較大，不易堵塞；出于成本考慮，排風系統一般不加裝加熱夾套。

問題5：加熱帶材質是什么材質，哪些種類可選，怎么選？

答：①加熱夾克內外均為不燃材質，外層為耐高溫特氟龍涂層布，一般用于Pumping line管路。

②加熱帶為硅膠裹覆，外包阻燃橡塑保溫棉，一般用于Gas line。

問題6：加熱夾克的維護保養流程是什么樣的，平時做哪些點檢？是否有壽命周期等等。

答：①因加熱夾克安裝后的工作裝為靜態，不需特殊維護保養，只需進行每日點檢即可。監控報警或點檢中發現部分單元故障，可更換備品，產品設計便于拆裝，更換簡單。

②壽命：5年

問題7：加熱帶和特氣低蒸氣壓的加熱帶有什么區別？

答：加熱夾克屬于高溫加熱，工作溫度120℃。特氣管道加熱屬于低溫伴熱帶，如BCL3加熱溫度35℃。

審核編輯 黃昊宇