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硅光芯片的無源封裝技術

光峰科技 ? 來源:光通信女人 ? 作者:匡國華 ? 2022-09-01 10:44 ? 次閱讀

昨天在朋友圈看到一個圖,并借用2017年IBM的一個硅光耦合的圖來解釋“無源封裝”技術

poYBAGMQHQOAIBXaAAD9l60zAbY561.jpg
我再寫一下什么叫無源封裝,或者叫無源耦合。在合集2020第76頁有過一些簡單的描述。

在我匯總的一個硅光行業報告中,有較為詳細的分類解析。

pYYBAGMQHROAeiJoAAC9IWkguN8955.jpg

我自己來恢復一下這個圖,這個圖的含義包括了電學、光學和熱學

pYYBAGMQHS6APBCMAAEiTohxbgQ956.jpg

電學:硅光芯片和兩個淺藍色的模擬電芯片的電信號連接內容,需要3D堆疊封裝,與高頻信號損耗有關。

光學:光纖陣列寬度,耦合容差,以及硅波導的SSC模斑轉換,IBM在2017年版本的基礎上2020年做了優化,改為倏逝波耦合,結構寫在硅光行業報告的第187-188頁。

熱學:對接耦合需要考慮Z軸的一致性與損耗。

在硅光芯片上刻蝕V型槽,能起到三維限位的作用,V型槽的寬度間距和光纖間距一致,產業鏈大約分為兩大類,一大類是250μm,另一大類是減包層后的特殊間距,約在160μm左右。

優化后的倏逝波耦合,要有一段扇入扇出,硅波導間距不用V型槽,而改為50微米間隔,用于降低Z軸翹曲、對準精度、耦合損耗等幾個方面的影響。

poYBAGMQHUGAAF-UAAF5CJmEZWg428.jpg

只看一個光纖,通過V型槽對準硅波導的SSC轉換,精度很高。

pYYBAGMQHVWARUaOAACdywK-5M0738.jpg

如果是陣列,就比較麻煩。

poYBAGMQHWeAFNLEAAD5ViimDts421.jpg
早期,V型槽是玻璃基板刻蝕,與硅波導做耦合。畢竟是兩個器件,XYZ以及傾斜度,對于整體的耦合損耗控制比較難。
poYBAGMQHXiATsWBAADj2shtXHI247.jpg

用“無源”耦合方式,行業報告的第194-195頁,可以通過邊沿兩側的波導,在硅光芯片不通電的情況下,可進行前期對準。通過兩邊的光纖,一個外部耦合光源進入,結合硅的環波導,繼而從另一側光纖輸出,在耦合設備處放一個探測器,通過探測器的電流峰值狀態,就能知道耦合效率的最高點。


poYBAGMQHYiARKCOAAEAaYolCdY447.jpg

如果考慮到多個光纖的耦合損耗分布,上述的無源耦合并不能解決損耗一致性的問題。


pYYBAGMQHZeAN4dFAACgmFgsMm0573.jpg

我們理想的光路對接是下圖這樣的,4個/8個/16個/32個,每個間距250微米,總計好幾個毫米的狀態下,他們的波導高度都一致。


pYYBAGMQHaaAFLhWAAD_bbImofI549.jpg

但是現實可能做不到,比如硅光芯片是需要電信號引入引出的,那么焊接時的局部高熱,會引起芯片的翹曲,雖然宏觀上產生的Z軸高度差異很小,幾個毫米長,只有千分之一的高度變化,幾個微米而已。要知道咱們單模光纖的波導直徑也是幾個微米,Z軸翹度會導致很大的損耗不均勻。


poYBAGMQHbSAaDyTAAENwM0iWhg356.jpg

這個時候面臨的困境,即使是“無源”耦合,也會導致部分通道耦合損耗極大的隱患。

解決方案有幾種,第一種在硅基板上刻蝕V型槽,可緩解分立結構的翹曲不一致,第二種在對接兩側采用準直透鏡,擴大尺寸冗余度,第三種是采用對稱透鏡將XY平面耦合,轉換為Z向對準,第四種將對接耦合改為倏逝波耦合,不再依賴Z軸高度的亞微米精度的一致性。

第一種方案是直接在硅光芯片上刻蝕V型槽,對于Z軸翹曲的容忍性,比分立器件好很多。


pYYBAGMQHcyAQYniAAFQZU5uU84385.jpg
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審核編輯:劉清

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原文標題:每一次開學,都離夢想更近

文章出處:【微信號:appotronics2006,微信公眾號:光峰科技】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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