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在自動CM300xi探針臺上進(jìn)行手動調(diào)整

芯睿科技 ? 來源:芯睿科技 ? 作者:芯睿科技 ? 2022-07-05 10:44 ? 次閱讀

FormFactor的強(qiáng)大功能自動化功能,可在多個溫度下進(jìn)行無人值守的測試通過將操作員的干預(yù)減少到最低程度,有助于提高數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和最小化測試成本。但是,在安裝全新的測量裝置或更換設(shè)備時,即使是最高程度的自動化也要依靠人工干預(yù)和手動調(diào)整。當(dāng)處理價值數(shù)千美元的高度復(fù)雜的探針或探針卡時,探針臺的直觀,快速和安全的操作至關(guān)重要。

持續(xù)優(yōu)化

我們在FormFactor不斷優(yōu)化我們行業(yè)領(lǐng)先的300 mm晶圓探針臺的人體工程學(xué)功能和調(diào)整能力CM300xi增強(qiáng)操作員體驗并簡化測量工作流程。這不僅使工程師和操作員可以輕松便捷地使用我們的探針臺,從而帶來了高產(chǎn)和創(chuàng)新的工作氛圍。它還有助于避免因錯誤操作或誤操作而造成的材料損壞而造成的成本和延誤。

在X,Y和Z中進(jìn)行手動調(diào)整

我們的3D手動控制提供了一種在X,Y和Z方向上手動移動卡盤的額外且非常直觀的方法。使用XY旋鈕用于將卡盤沿X和Y方向定位壓板提升用于控制晶片和探針之間的距離。

CM300xi壓板提升機(jī)是一個虛擬功能。 CM300xi的壓板不是真正移動的,而是固定的,可以提高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。取而代之的是,Platen Lift可以使卡盤和顯微鏡載物臺同步移動,從而在探針和晶圓移至分離狀態(tài)時,顯微鏡圖像保持聚焦在晶圓水平上。因此,其凈效果類似于傳統(tǒng)的機(jī)械壓紙?zhí)嵘龣C(jī)。確實,您幾乎不會注意到差異。

我們的應(yīng)用工程師喜歡此功能,因為它可以節(jié)省執(zhí)行對齊任務(wù)的時間。典型的用例包括設(shè)置接觸高度并執(zhí)行測量腳本的“空運行”。

想象一下,您編寫了一個漫長的測量例程,該例程應(yīng)該在整個晚上甚至整個周末運行。快速確定間隔高度的探頭快速進(jìn)行空運行,以確保一切設(shè)置正確,這不是很好嗎?使用CM300xi壓板提升機(jī),可以快速便捷地完成此任務(wù)。準(zhǔn)備好測量設(shè)置并編寫腳本后,在開始實際操作之前,向上移動壓板提升器以分離探針和晶片。然后啟動您的腳本。空運行。跟蹤腳本的執(zhí)行并在必要時進(jìn)行調(diào)試。一切編程和調(diào)整正確嗎?太好了,只需將壓板提升機(jī)移回接觸并開始進(jìn)行真實測量即可。[1]

除了我們精心安排的狀態(tài)反饋Velox探針臺控制軟件,符合人體工程學(xué)的位置,清晰可見壓板提升控制桿可提供有關(guān)聯(lián)系人狀態(tài)的其他視覺反饋。

壓板提升和手動XY旋鈕是FormFactor的一部分3D手動控制用于CM300xi探針臺。它們使您能夠在X和Y上進(jìn)行符合人體工程學(xué)的手動調(diào)整,并控制分離距離。 3D手動控件是所有新CM300xi探針臺均可使用的可選功能。可根據(jù)要求對現(xiàn)有機(jī)器進(jìn)行現(xiàn)場升級。

審核編輯:符乾江

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