馬薩諸塞州比佛利2022年3月31日 /美通社/ -- 半導體行業離子注入支持解決方案的領先供應商Axcelis Technologies, Inc.(納斯達克股票代碼:ACLS)今天宣布,公司向日本領先的功率設備芯片制造商發運其Purion XE?高能和Purion M?中等電流Power Series?注入機。這些系統將用于大批量生產基于300mm薄硅晶圓的MOSFET和IGBT設備,以用于汽車和其他功率管理應用。
產品開發執行副總裁Bill Bintz表示:“Purion Power系列的獨特功能,結合功率設備領域的密集注入特性,將賦予Axcelis獨特的條件來從這一市場的增長中受益。這些工具集成了多項功能和工藝控制能力,包括該平臺為功率設備市場提供支持的薄晶圓處理能力。我們期待擴大Purion平臺在日本的業務范圍,并支持我們客戶實現提高制造能力的目標。”
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