芯片制造四大基本工藝包括:芯片設(shè)計、FPGA驗證、晶圓光刻顯影、蝕刻、芯片封裝等,晶片制作過程最為復(fù)雜,需經(jīng)過濕洗、光刻、 離子注入、干蝕刻、等離子沖洗、熱處理、化學(xué)氣相淀積、物理氣相淀積、電鍍處理、化學(xué)/機械表面處理、晶圓測試等過程。
一般來說, 在光刻過程中要先對整個襯底先加入Photo-resist物質(zhì),用干蝕刻把需要P-well的地方也蝕刻出來,后端處理主要是用來布線以達到部分消除寄生電容的目的,步驟跟傳統(tǒng)工藝基本一致。
最后再利用光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù),保留下柵隔離層上面的氮化硅層,形成 NMOS 的源漏極進行退火處理保證整個 Chip 的完整和連線的連接性,按照需求去制作成各種不同的封裝形式即可。
聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
芯片
+關(guān)注
關(guān)注
459文章
52090瀏覽量
435325 -
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
52文章
5104瀏覽量
129100 -
光刻技術(shù)
+關(guān)注
關(guān)注
1文章
149瀏覽量
16092
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點推薦
最全最詳盡的半導(dǎo)體制造技術(shù)資料,涵蓋晶圓工藝到后端封測
資料介紹
此文檔是最詳盡最完整介紹半導(dǎo)體前端工藝和后端制程的書籍,作者是美國人Michael Quirk。看完相信你對整個芯片制造流程會非常清晰地了解。從硅片制造,到晶圓廠
發(fā)表于 04-15 13:52
【「芯片通識課:一本書讀懂芯片技術(shù)」閱讀體驗】芯片怎樣制造
。
光刻工藝、刻蝕工藝
在芯片制造過程中,光刻工藝和刻蝕工藝用于在某個半導(dǎo)體材料或介質(zhì)材料層上,
發(fā)表于 04-02 15:59
不只依賴光刻機!芯片制造的五大工藝大起底!
在科技日新月異的今天,芯片作為數(shù)字時代的“心臟”,其制造過程復(fù)雜而精密,涉及眾多關(guān)鍵環(huán)節(jié)。提到芯片制造,人們往往首先想到的是光刻機這一高端設(shè)備,但實際上,

芯片制造中的淺溝道隔離工藝技術(shù)
淺溝道隔離(STI)是芯片制造中的關(guān)鍵工藝技術(shù),用于在半導(dǎo)體器件中形成電學(xué)隔離區(qū)域,防止相鄰晶體管之間的電流干擾。本文簡單介紹淺溝道隔離技術(shù)的作用、材料和步驟。

通快與SCHMID集團合作創(chuàng)新芯片制造工藝
德國通快集團(TRUMPF)與SCHMID集團近期宣布了一項重大合作,旨在為全球芯片行業(yè)帶來革命性的制造工藝升級。雙方正攜手開發(fā)最新一代微芯片的創(chuàng)新
聯(lián)發(fā)科調(diào)整天璣9500芯片制造工藝
近日,據(jù)外媒最新報道,聯(lián)發(fā)科正在積極籌備下一代旗艦級芯片——天璣9500,并計劃在今年末至明年初正式推出這款備受期待的芯片。 原本,聯(lián)發(fā)科有意采用臺積電最先進的2nm工藝來制造天璣95
【「大話芯片制造」閱讀體驗】+ 芯片制造過程和生產(chǎn)工藝
今天閱讀了最感興趣的部分——芯片制造過程章節(jié),可以用下圖概括:
芯片的制造工序可分為前道工序和后道工序。前道工序占整個芯片
發(fā)表于 12-30 18:15
【「大話芯片制造」閱讀體驗】+內(nèi)容概述,適讀人群
的了解。此外還科普了半導(dǎo)體公司命名的逸聞趣事,增添了幾分趣味。
第二章,則簡單的科普了什么是半導(dǎo)體,半導(dǎo)體的分類是什么?IC芯片是怎么制造的?半導(dǎo)體的基本工藝(沉積,刻蝕,離子注入,化學(xué)機械研磨,清洗等
發(fā)表于 12-21 16:32
大話芯片制造之讀后感超純水制造
大家能看到這篇讀后感,說明贈書公益活動我被選中參加,我也算幸運兒,再次感謝贈書主辦方!
關(guān)于芯片制造過程中,超純水設(shè)備制造工藝流程中導(dǎo)電率控制。在正常思維方式,水是導(dǎo)電的,原因?qū)щ娛撬?/div>
發(fā)表于 12-20 22:03
【「大話芯片制造」閱讀體驗】+芯片制造過程工藝面面觀
第二章對芯片制造過程有詳細介紹,通過這張能對芯片制造過程有個全面的了解
首先分為前道工序和后道工序
前道工序也稱擴散工藝,占80
發(fā)表于 12-16 23:35
探秘四大主流芯片架構(gòu):誰將主宰未來科技?
在科技日新月異的今天,芯片作為現(xiàn)代電子設(shè)備的心臟,其架構(gòu)的選擇與設(shè)計顯得尤為重要。目前市場上主流的芯片架構(gòu)有四種:X86、ARM、RISC-V和MIPS。它們各具特色,廣泛應(yīng)用于各種電子設(shè)備中。本文將詳細剖析這

電機的制造工藝有哪些
電機作為現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的動力設(shè)備,其制造工藝的優(yōu)劣直接影響到電機的性能、質(zhì)量和可靠性。電機的制造工藝涵蓋了多個環(huán)節(jié),包括機加工、鐵芯制造
臺積電3nm工藝產(chǎn)能緊俏,蘋果等四巨頭瓜分
據(jù)臺灣媒體報道,近期全球芯片制造巨頭臺積電面臨了3nm系列工藝產(chǎn)能的激烈競爭。據(jù)悉,蘋果、高通、英偉達和AMD這四大科技巨頭已經(jīng)率先瓜分完了臺積電當(dāng)前的3nm系列
評論