電子發燒友網報道（文/李彎彎）半導體設備廠商目前的銷售情況如何？今年以來，芯片產能不足之下全球各地加快建廠擴產，這帶動半導體設備廠商銷售持續高增長。近日ASML公布第三季度財報，顯示銷售業績仍然增幅很大，國內的半導體設備龍頭北方華創的業績預告也顯示，凈利潤預計有一到兩倍的增長。

不過從目前國外內半導體設備整體情況來看，半導體設備的銷售和出貨雖然還在增長，不過對比之前，增速開始放緩，有機構表示，半導體設備已經終止連續環比增長的態勢。

ASML EUV光刻機業務營收創下新紀錄

全球領先的光刻機廠商ASML日前公布最新季度業績，財報顯示，在GAAP會計準則下，ASML第三季度凈銷售額52.41億歐元（約390億元人民幣），同比增長32.4%，凈利潤為17.40億歐元（約130億元人民幣），同比增長63.8%。其中毛利率也有所上漲，為51.7%，上一季度毛利率為50.9%。

ASMLEUV光刻機業務出貨量和營收創下新紀錄，根據財報信息，今年第三季度 EUV的銷售占到公司總銷售額的54%，而第二季度這個占比是45%，主要是用在邏輯芯片和存儲芯片的制造商，從地域來看，ASMLEUV光刻機45%出貨到中國臺灣地區，33%出貨到韓國，出貨到美國和中國大陸的占比分別為10%。

ASML總裁兼首席執行官Peter Wennink表示，公司第三季度新增訂單金額達到62億歐元（約462億元人民幣），其中29億歐元來自EUV訂單。客戶對光刻系統的需求仍在高點，主要原因是數字化轉型和芯片短缺帶動市場對內存和邏輯芯片的需求。預計今年第四季度將實現營收約為49億到52億歐元。

北方華創Q3凈利潤同比增長100-180%

日前國內的半導體設備龍頭北方華創也發布業績預告，根據公告，北方華創第三季度預計實現營業收入21.56-65.94億元，同比增長30-80%，歸屬上市公司凈利潤2.85-3.99億元，同比增長100-180%。

北方華創業績的高增長還是受益于下游市場需求的提升，同時北方華創各種新設備導入市場的節奏正在加快，包括刻蝕機、PVD、CVD、清洗機等，在客戶端的滲透率逐步提高，公司的半導體設備已經在半導體產業主流生產線中實現批量銷售。

至純科技獲大基金二期投資 國產清洗設備發展提速

受益于當前芯片產能不足，全球各地大力建廠擴產，以及國產替代的推動，國內半導體設備逐漸有了更多應用的機會和空間，其中清洗設備方面的表現就很明顯。

清洗設備是半導體產業鏈制造的重要環節，根據臺灣工研院數據，2020年半導體清洗設備市場空間49億美元，2025年將達67億美元。目前清洗設備的國產化率約為20%，主要廠商有北方華創、盛美半導體、至純科技、芯源微等。

盛美半導體是國內領先的清洗設備廠商，日前宣布濕法設備2000腔順利交付，目前出貨量已累計超過300臺，產品包括單片SAPS兆聲波清洗設備、單片TEBO兆聲波清洗設備、單片背面清洗設備、單片刷洗設備、槽式清洗設備等，公司產品組合覆蓋80%以上清洗設備市場，2020年國內市場份額達到23%。

至純科技日前發布公告稱，旗下子公司至微科技進行增資擴股，引入包括大基金二期、混改基金等在內的多名重要股東，至微科技主要業務是半導體濕法清洗設備，公司自成立以來，已累計獲得濕法設備訂單超過160臺。

據行業人士分析，國家隊基金增持清洗設備企業，一是有利于至微科技與國內頭部半導體公司加強合作，促進其未來發展，二是透露出了市場對公司及該領域未來看好，同時有利于清洗設備未來的發展。

北美、日本半導體設備出貨放緩 國內市場增長機會仍在

半導體設備經歷了過去一段時間的快速成長，近來北美和日本等地區的出貨快開始放緩。北美半導體設備8月份的出貨量同比增幅明顯，達到37.56%，不過環比下降了5.38%，終止了出貨額連續8個月的環比增長；日本半導體設備出貨額同比增長30.42%，環比增長幅度較小，為2.07%。

不過當前和未來國內規劃的擴產規模較大，而且廠商也在加大對成熟制程的投入，有機構測算，國內晶圓廠未來可釋放的產能，包括8寸線產能約27萬片，12寸線產能約 61.5-62.5萬片，其中12寸線中確定為成熟制程的產品約為33.5萬片，因此未來三年國產半導體設備有明顯的增長空間。

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