在芯片制造過程中,任何一點小瑕疵都可能造成整批芯片的報廢。因此,這一過程中晶圓監測必不可少,可以保證芯片的良品率和控制成本。
這種芯片制造全程的檢測工藝,便是“前道測量”。在半導體前道測量領域,壟斷態勢也十分明顯。
其中,KLA獨自便占據了高達53%的市場,其次美國應用材料、日本日立、美國耐諾等。在這一領域中,有一個獨特的存在,那便是日本測試設備制造商——Lasertec。
Lasertec是全球唯一EUV光刻制造測試設備制造商。它雖然名氣不算大,公司規模也有限,卻掌握著全球頂尖技術,為芯片制造做出了突出貢獻。
隨著先進工藝節點的逐漸推進,EUV光刻機的需求量快速增長,這自然帶動了EUV檢測設備市場。如今,臺積電、三星均可以量產5nm制程,在大舉推進先進制程的同時,還在積極擴產。
這令二者所需的EUV光刻機數量明顯提升,Lasertec檢測設備的需求量自然也隨之增長。如今,臺積電與三星都訂購了Lasertec的EUV檢測設備。
未來,SK海力士、美光等芯片巨頭也將使用EUV技術進行量產。目前,已經到了EUV檢測設備行業的收割期,由此來看,Lasertec的未來發展十分可期。
據Lasertec的2021年6月期第2四半期財報顯示,公司銷售額為322.31億日元,實現了61.6%的同比大漲。從Lasertec的歷年業績中不難看出,其營收、銷售額等數值都呈現高速發展態勢,業績屢創新高,令人十分矚目。
同時,Lasertec的股價也實現了大幅提升,成為半導體設備行業的一匹黑馬。
Lasertec能有如今的成績,離不開其多年來的不斷研發。在EUV檢測設備領域,Lasertec早就壓下了重注,經過20多年的鉆研之后,終于有所突破。
Lasertec在2017年,成功制造出可檢測EUV光罩基板內部缺陷的機器,一舉成為行業壟斷者。在芯片制造過程中,光罩出現任何小的瑕疵,都會對芯片成品造成影響。故而,保證光罩完美十分關鍵。
因而,Lasertec的這一突破,對于提升芯片良品率有著重要作用。
EUV光刻機的行業壁壘極高,EUV檢測設備行業業是如此,在Lasertec在這一領域的行業地位已經成功確立,其他廠商很難再進入。
如今在半導體前道量測領域,Lasertec的市場占有率還十分有限。但在未來,Lasertec發展潛力卻十分巨大,是一顆冉冉升起的新星。
責任編輯:tzh
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