2021年1月21日，中國珠海-英諾賽科科技有限公司和ASML公司達成批量購買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機的協(xié)議，用于制造先進的硅基氮化鎵功率器件。

全球領(lǐng)先的硅基氮化鎵集成器件制造商英諾賽科科技有限公司和光刻機制造廠商ASML近期達成批量購買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機的合作協(xié)議。ASML是全球芯片制造設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商，其生產(chǎn)的XT400和XT860 的i-line和KrF經(jīng)過升級，能夠在硅基晶圓上制造氮化鎵功率器件。憑借其獨特的TWINSCAN(雙工件臺)架構(gòu)，ASML的i-line和KrF光刻機能提供最卓越的性能、市場上最高的生產(chǎn)效率以及最低的成本。雙工件臺技術(shù)架構(gòu)已經(jīng)成為全球300mm和200mm晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線中的先進光刻技術(shù)代表 。英諾賽科將在今年第二季度搬入首批光刻機，這是第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域首次量產(chǎn)應(yīng)用先進的ASML TWINSCAN(雙工件臺)光刻技術(shù)，這一實施標(biāo)志著第三代半導(dǎo)體制造技術(shù)正式進入了一個全新的紀元。

英諾賽科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于第三代半導(dǎo)體硅基氮化鎵芯片制造的企業(yè)。公司成功建成投產(chǎn)全球首條200mm硅基氮化鎵晶圓與功率器件量產(chǎn)生產(chǎn)線，主要產(chǎn)品包括200mm硅基氮化鎵晶圓及30V-650V氮化鎵功率器件。英諾賽科產(chǎn)品的設(shè)計與性能均達到國際最先進水平，并已廣泛應(yīng)用于PD快充、立體(3D)相機、移動電子設(shè)備(包括智能手機、筆記本電腦、平板電腦)等領(lǐng)域。英諾賽科致力于打造世界一流品牌，并為全球?qū)捊麕О雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出貢獻。

功率器件和電路可以通過高開關(guān)頻率和高功率密度來實現(xiàn)高效的能源管理， 這些功能可以廣泛用于快速增長的新興市場如數(shù)據(jù)中心、可再生能源和下一代無線通訊網(wǎng)絡(luò)等。除較小的外形尺寸外，由于其高頻率、高功率密度等特性，硅基氮化鎵還是快速充電，直流電網(wǎng)，新能源汽車等市場理想選擇。“第三代半導(dǎo)體”材料包括氮化鎵(GaN) 、碳化硅（SiC）、氮化鋁（AlN）、金剛石和氧化鋅（ZnO），而氮化鎵(GaN)是“第三代半導(dǎo)體”材料的典型代表，具有廣闊的市場應(yīng)用前景。

2021年1月21日在珠海舉行的簽約儀式上，英諾賽科CEO 孫在亨先生 說：“我非常榮幸的宣布英諾賽科與ASML達成合作協(xié)議，我們將在一起努力用氮化鎵技術(shù)改變未來。作為一家致力于推動第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新革命的企業(yè)，我們需要與像ASML這樣全球半導(dǎo)體領(lǐng)軍的企業(yè)合作，采用更加先進的制造工藝，實現(xiàn)更加高的性能、良率和產(chǎn)出，在快速成長的各種應(yīng)用領(lǐng)域(例如快充、TOF相機(Time-of-Flight Camera) 、智能手機、電動車、數(shù)據(jù)中心等)共同推出最先進的解決方案以及下個世代的氮化鎵器件，為我們的客戶、伙伴和消費者創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品和服務(wù)。第三代半導(dǎo)體是一次產(chǎn)業(yè)革命性的升級，變革從不簡單，它需要我們攜手共進，攜手共進我們將實現(xiàn)合作共贏。

ASML全球副總裁，中國區(qū)總裁沈波表示：“我們很高興成為英諾賽科的合作伙伴，第三代半導(dǎo)體在全球市場有廣闊的應(yīng)用前景，阿斯麥會全力提供光刻解決方案和服務(wù)，支持英諾賽科在這一領(lǐng)域的發(fā)展。”

“我們應(yīng)用在200mm晶圓生產(chǎn)線上的 XT平臺，包括i-line、KrF和干式ArF等光刻機，是快速增長的硅基氮化鎵市場的理想長期解決方案，不僅在生產(chǎn)率和成本方面是這樣， 隨著氮化鎵（GaN）材料在新領(lǐng)域的應(yīng)用，套準精度和成像要求也會隨著時間的推移而擴展。” ASML 深紫外光刻業(yè)務(wù)產(chǎn)品營銷和業(yè)務(wù)開發(fā)高級總監(jiān)Toni Mesquida Kuesters說: “我們致力于幫助英諾賽科實現(xiàn)其預(yù)期目標(biāo)，并期待卓有成效的合作。”

關(guān)于英諾賽科

英諾賽科成立于2015年12月，是一家硅基氮化鎵芯片集成制造的企業(yè)。隨著科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展，全球電力能源應(yīng)用系統(tǒng)正在發(fā)生巨大轉(zhuǎn)變。我們的愿景就是用先進、高效、低成本的硅基氮化鎵技術(shù)助力新時代高效能源系統(tǒng)的建設(shè)。2017年11月，英諾賽科在珠海建設(shè)完成全球首條8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線。為了滿足快速爆發(fā)的市場的需求，2020年9月，英諾賽科蘇州工廠建設(shè)完成。作為領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體技術(shù)供應(yīng)商，英諾賽科的IDM全產(chǎn)業(yè)鏈集成制造模式可以為客戶帶來更加高效、高可靠性的解決方案，其產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用于云計算(數(shù)據(jù)中心)、汽車、移動電子設(shè)備等領(lǐng)域。

關(guān)于ASML

總部位于荷蘭的ASML是全球芯片制造設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商，并且是芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。我們的愿景是驅(qū)動半導(dǎo)體的各種應(yīng)用來幫助解決人類生活中各種挑戰(zhàn)。為了實現(xiàn)這個目標(biāo)，我們提供創(chuàng)新的產(chǎn)品和服務(wù)來幫助芯片制造商不斷微縮芯片。我們不斷提高產(chǎn)品的性能，以幫助客戶持續(xù)提升芯片價值并降低成本。我們致力于讓芯片的性能更強大、價格更合理，進而促使半導(dǎo)體技術(shù)能更廣泛的應(yīng)用于醫(yī)療、能源、通訊和娛樂等相關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)中30多年來，ASML的成功來自于和客戶及供貨商緊密合作所共同創(chuàng)造的領(lǐng)先技術(shù)、高效能的流程和優(yōu)秀的員工。ASML在全球16個國家的60個城市設(shè)有辦公室，員工超過28000。ASML為荷蘭阿姆斯特丹證券交易所和美國NASDAQ上市公司。

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