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3nm制程費錢更費電,一年吃下70億度

如意 ? 來源:芯智訊 ? 作者:浪客劍 ? 2020-12-29 09:30 ? 次閱讀

日前有媒體報道稱,臺積電已經(jīng)成功開發(fā)了2nm工藝,而2nm工廠預計將落腳于新竹科學園區(qū)寶山園區(qū),且臺積電也持續(xù)積極布局2nm以下的先進制程,傳聞可能會在高雄設(shè)廠。至于2nm的進度,消息稱臺積電將在2023年上半年進行風險生產(chǎn),2024年開始批量生產(chǎn)。

不過,臺積電對此消息回應(yīng)稱,目前已投入2nm制程技術(shù)研發(fā),不過,尚無具體量產(chǎn)時間。

臺積電過去約每2年推進一個世代制程技術(shù),今年下半年5nm制程大量生產(chǎn),3nm預計2022 年下半年量產(chǎn)(資料顯示,臺積電3nm工藝比5nm工藝的晶體管密度高70%,性能提高15%,功耗降低30%)。因此,外界推測,臺積電2nm大約會在2025 年之前量產(chǎn)。

與此同時,根據(jù)中國臺灣地區(qū)經(jīng)濟部能源局公告顯示,2022年到2023年應(yīng)備總供電容量增加近100萬千瓦,2024年到2025年進一步大增257.6萬千瓦。

由于臺積電是臺灣的用電大戶,從臺灣供電容量的增加幅度來看,外界猜測,臺積電2nm制程有望于2025 年前量產(chǎn),與臺灣用電負載激增時間吻合。

臺積電:臺灣最大的耗電大戶

根據(jù)世界能源署統(tǒng)計,2012年臺灣人均年耗電量已經(jīng)達到約10800千瓦時,超過日本、韓國,成為亞洲非產(chǎn)油國家和地區(qū)人均耗電量之最。而2014年中國大陸的人均年耗電量才4740千瓦時,不到臺灣地區(qū)2012年的一半。

不過以上數(shù)據(jù)可能與臺灣公布數(shù)據(jù)存在一些出入。根據(jù)臺電統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示,2012年民生用電售電量576.45億度,工業(yè)用電1176.48億度。截至2012年底,臺灣人口約2331.58萬人。以此數(shù)據(jù)來估算,臺灣的人均年耗電量約為7518度。

根據(jù)電公司統(tǒng)計的數(shù)據(jù)顯示,中國臺灣地區(qū)2018年全年用電量達2191億度。而2018年底,臺灣戶籍登記人口則為2358.9萬人。按照此數(shù)據(jù)來計算,2018年,臺灣人均年耗電量已經(jīng)超過了9288千萬時,遠超冰島等人均耗電量排名靠前的國家。

3nm制程費錢更費電,一年吃下70億度

△根據(jù)美國中央情報局2016年的數(shù)據(jù)顯示,雖然中國電力產(chǎn)量居世界首位,但人均能源消耗量居世界第63位。而人均耗電量最多的國家則是冰島,達到了5777千瓦時。

臺灣地區(qū)人均年耗電量如此之高的關(guān)鍵原因則是,臺灣龐大的半導體產(chǎn)業(yè)消耗了大量的電能,導致臺灣的人均年耗電量“被平均”了。

在臺灣半導體廠商當中,臺積電一直都是最大的用電大戶,幾年之前,臺積電的用電量就占據(jù)了全臺灣用電量的5%以上。

根據(jù)臺積電企業(yè)社會責任報告書,2016年臺積電用電量就已高達88.53 億度,較前2015年增加了11%。當時臺積電僅在竹科的Fab耗電功率已經(jīng)超過72萬千瓦。

2019年,包括中國臺灣廠區(qū)、WaferTech、臺積電(中國)、臺積電(南京)、采鈺公司,臺積電全球能源消耗量為143.3億度,比五年前增加了54.12億度,近五年每年平均年增長率12.5%。資料顯示,過去五年,全臺灣增長的電量,其中1/3都被臺積電給消耗了。

先進制程產(chǎn)線最為耗電:一臺EUV***,一天耗電3萬度?3nm工廠年耗電量將達70億度

臺積電造的每一顆芯片需要經(jīng)過數(shù)千道工序才能完工,而這其中需要利用大量的半導體設(shè)備,并一直維持恒溫、高壓等各種復雜環(huán)境,這一切都需要電,造的芯片越多、制程越先進,用的電就越多。

數(shù)據(jù)顯示,先進制程機臺用電量占臺積電公司能源使用50%以上,同時考慮先進制程機臺數(shù)量逐年增加,臺積電對于電能的消耗將進一步快速增長。

由于7nm以下的先進工藝制程必須要使用EUV***,而EUV***的大量使用將會對臺灣的供電能力提出巨大挑戰(zhàn)。

SK 海力士此前曾表示,“EUV 的能源轉(zhuǎn)換效率(wall plug efficiency)只有 0.02% 左右?!倍斐赊D(zhuǎn)換率低的一大原因是,極紫外光本身的損耗過大。

“極紫外光物理特性與一般常見的紫外光差異極大。這種光非常容易被吸收,連空氣都不透光,所以整個生產(chǎn)環(huán)境必須抽成真空;同時,也無法以玻璃透鏡折射,必須以硅與鉬制成的特殊鍍膜反射鏡,來修正光的前進方向,而且每一次反射仍會損失 3 成能量,但一臺 EUV 機臺得經(jīng)過十幾面反射鏡,將光從光源一路導到晶圓,最后大概只能剩下不到 2% 的光線?!边@也是 EUV 機臺如此耗電的主因之一。

如果按照前面的EUV能源轉(zhuǎn)換效率只有0.02% 來計算,目前先進的能輸出 250 瓦功率的 EUV的機臺,需要輸入0.125萬千瓦的電力才能達到,這個耗電量是傳統(tǒng)氬氟雷射的 10 倍以上。

換句話來說,就是一臺輸出功率250W的EUV機器工作一天,將會消耗3萬度電,這個數(shù)字確實嚇人。

根據(jù)了解,要想達到 250 瓦功率的 EUV輸出,需要將多臺13kW CO2激光器串聯(lián)接通達到所需的功率要求,最終從等離子體源產(chǎn)生所需的EUV光輸出。

高科技產(chǎn)生極紫外光的過程非常低效,過去被人們比擬為“用核反應(yīng)堆提供動力”,但也成為了滿足半導體工業(yè)批量生產(chǎn)要求擴展EUV輸出功率的唯一可行方式。

另外需要指出的是,如此大的耗電量也不可避免的帶來了很大的發(fā)熱量,因此需要部署相應(yīng)的冷卻系統(tǒng),而這也將非常的耗電。

根據(jù)今年7月臺灣媒體的報道稱,隨著臺積電5nm的大規(guī)模量產(chǎn),臺積電今年的單位產(chǎn)品用電量相比去年上升了17.9%,而該公司擬定的目標則為降低11.5%。臺媒稱,以執(zhí)行力著稱的臺積電管理團隊,如此大幅落后設(shè)定目標,是極罕見的事。

臺積電對此解釋稱,隨著新制程技術(shù)與制程復雜度增加,新制程機臺用電量上升,導致10nm以下制程產(chǎn)品用電量較16nm以上的制程倍增。

有分析稱,極可能是EUV導入的速度與量產(chǎn)之后的耗電量超乎預期。

根據(jù)預計,一個7nm的EUV產(chǎn)線可能只需要1臺ASML EUV***NXE 3400B即可,但是到了3nm制程產(chǎn)線,如果繼續(xù)用NXE 3400B,就可能需要4臺才能實現(xiàn),耗電量將更為驚人。

不過,ASML也正在提升***的效率,比如已推出的改進的NXE:3400C的產(chǎn)能從之前的125WPH(每小時處理晶圓數(shù))提升到了175WPH,同時還將推出針對3nm及以下制程的EXE:5000系列EUV***。希望屆時新的EUV***能夠進一步提升能效比。但是,單機的能耗恐怕難以實現(xiàn)大幅的降低。

根據(jù)之前的預測,臺積電3nm半導體制造廠開啟后,預計年耗電量將達到70億度。而等到2nm制程Fab的量產(chǎn),其耗電量必然將再度上升到一個新的臺階,未來臺積電的用電量將有可能超過臺灣總電量的10%。

“缺電”或成臺灣半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展掣肘

需要指出的是,由于臺灣的煤炭、石油、天然氣、水利資源都比較匱乏,這也導致了臺灣所需的能源99%需要靠進口。更為關(guān)鍵的是,在2011年日本大地震導致日本福島第一核電站發(fā)生泄露之后,臺灣就開始逐步“去核化”,這也進一步加重了臺灣的能源危機。

當時的民進黨主席蔡英文為了獲得支持率,就拋出了“2025非核家園計劃”,強調(diào)如果贏得“總統(tǒng)”大選,將最終在2025年完全停止核能發(fā)電。蔡英文當選之后,2017年2月,臺灣地區(qū)立法機構(gòu)正式通過的相關(guān)條文明確,核能發(fā)電設(shè)備應(yīng)于2025年以前全部停止運轉(zhuǎn),以實現(xiàn)蔡英文提出的“2025非核家園”目標。

按照“2025非核家園”的規(guī)劃,到2025年臺灣天然氣發(fā)電占總發(fā)電比例的50%,燃煤30%,綠色能源20%。而根據(jù)臺電所發(fā)布的報告顯示,2016年臺電系統(tǒng)發(fā)、購電量為2258億度,其中火力發(fā)電量占比達79.9%,再生能源占比為5.1%,抽蓄水力1.5%,核能為13.5%。而2016年臺電備用容量率僅10.4%。

考慮到未來臺灣用電的增長,要在完全退出核能的同時,實現(xiàn)2025年“2025非核家園”的規(guī)劃目標幾乎是不可能。

在臺灣當局通過“2025非核家園”目標數(shù)月之后,2017年8月15日,臺灣發(fā)生全島性大規(guī)模停電,受影響家庭近700萬戶(幾乎是臺灣全部人口)。

為了保護臺灣的支柱產(chǎn)業(yè)——半導體產(chǎn)業(yè),當?shù)卣畬斖須埓娴碾娏θ脊┙o了三大科學園區(qū)的半導體Fab廠,這才使得全球最大的晶圓代工廠臺積電在這次停電中毫發(fā)無傷。

但這也著實讓當?shù)卣芭_積電大驚一場。要知道,一座先進制程的半導體產(chǎn)線停電幾小時就有可能造成數(shù)千萬美元的損失。

為了緩解日益緊張的用電危機,2018年11月,臺灣當局“認慫”,“以核養(yǎng)綠”公投過關(guān),廢止了2025年核能發(fā)電設(shè)備全部停止運轉(zhuǎn)的期限,這也使得2018年臺灣核能供應(yīng)相比2017年有所增加。但是蔡英文政府仍強調(diào),非核家園仍是目標。

根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示,2018年中國臺灣地區(qū)能源供給總量為1.28億噸油當量,以化石能源為主,占92.8%,非化石能源僅占7.2%。化石能源中,石油供給總量為6170萬噸油當量,占能源供給總量的48.3%,煤炭3755萬噸油當量,占29.4%,天然氣1940萬噸油當量,占15.2%。2018年非化石能源消費中,核能供給量很大,為688萬噸油當量,占能源總供給的5.4%。其他能源品種:生物質(zhì)及廢棄物僅占1.1%,水電占0.3%,太陽能和風能分別占0.2%和0.1%,地熱能占比極小。

3nm制程費錢更費電,一年吃下70億度

截至2018年底,中國臺灣地區(qū)累計發(fā)電裝機容量52.44GW,以化石能源發(fā)電為主,煤電裝機19.35GW(36.9%),氣電裝機16.68GW(31.8%),燃油發(fā)電裝機3.08GW(5.9%),非化石能源發(fā)電裝機13.33MW(25.4%)。2018年,中國臺灣地區(qū)發(fā)電量為2755.8億千瓦時,其中化石能源發(fā)電占比84%,非化石能源發(fā)電占16%(其中大部分仍為核能)。

從數(shù)據(jù)來看,臺灣目前的發(fā)電主要還是以燃煤、燃氣發(fā)電為主,而這些能源則主要依賴于進口。其中,石油供應(yīng)消費全部依賴進口,3/4來自中東;煤炭消費全部依賴進口,約1/2來自澳大利亞;天然氣消費絕大部分依賴進口,1/2來自亞太。相比之下水電、太陽能、風能占比則很小。而隨著核能的逐步退出,以及臺灣半導體產(chǎn)業(yè)對于電力需求的快速增長,臺灣的能源供需尤其是電力供需矛盾未來將會日益突出。

早在2015年底的時候,馬英九到參觀臺積電中科廠,當時臺積電董事長張忠謀就指出,“目前臺灣最大的隱憂之一就是缺電”,并預言臺灣2017年可能面臨限電危機。

張忠謀當時在接受采訪時就表示,停電對于臺積電的影響“幾乎不可估計”。

雖然臺積電每個廠都有備用電源,但是面對產(chǎn)線所需的巨大電能,備用電源在停電時也撐不了多久。如果臺積電未來更為先進的3nm、2nm工廠出現(xiàn)停電,那么后果更是不可想象。

而為了降低這方面的風險,臺積電的近年來也在積極的多方布局。

一方面,為了分散風險,同時更為貼近客戶。臺積電近兩年開始積極在臺灣以外建廠,比如早已量產(chǎn)的南京臺積電廠和規(guī)劃中的美國5nm工廠。

另一方面,臺積電也在積極推動“綠色制造”,通過系統(tǒng)設(shè)計和管理上的優(yōu)化以及設(shè)備的改進來降低能耗。

臺積電董事長劉德音11月底在3nm廠上梁典禮時曾說,新廠房設(shè)計之初已依據(jù)臺灣與美國綠建筑認證系統(tǒng)指標規(guī)劃,并持續(xù)推動節(jié)能、節(jié)水、減廢、減碳與生態(tài)保護等友善環(huán)境行動。

考慮到先進制程機臺的數(shù)量和用電量的急劇上升,臺積電也攜手機臺設(shè)備商合作開發(fā)半導體“綠色機臺”,并啟動新世代機臺節(jié)能行動專案,估計今年將因啟用5nm節(jié)能機臺省下2億度用電量。

臺積電表示,還將展開能源用量管理、用電效能提升及生產(chǎn)流程高效化,以期能達成相同制程技術(shù)量產(chǎn)5年后,生產(chǎn)能效提升1倍的效果。

此外,臺積電還曾提出過自建電廠的計劃,但是卻并未獲批。不過,臺積電也在通過與第三方的電力公司合作,來降低對于官方電力供應(yīng)系統(tǒng)的依賴。今年7月,臺積電與風電公司沃旭簽署協(xié)議,承包其兩座風電場未來20年的發(fā)電量,預計每年將消耗34.5億度綠色電力。臺積電希望未來其3nm工廠使用綠色電力占比將達到20%左右。

今年7月,臺積電還加入了全球再生能源倡議組織(RE100),成為全球第一家參加的半導體企業(yè),承諾2050年前全球營運100%使用再生能源。不過,數(shù)據(jù)顯示,臺灣地區(qū)2019年綠色能源發(fā)電量僅為140億度,還不夠滿足臺積電一家的使用量。

而為了讓臺積電能夠放心的在臺灣建設(shè)3nm、2nm工廠,臺灣地區(qū)經(jīng)濟部長王美花近日也表示,由于臺灣半導體、電子等產(chǎn)業(yè)持續(xù)增加,政府一定要先把環(huán)境做好,尤其電力整備要提前準備好,未來5年供電及備轉(zhuǎn)容量率都將持續(xù)增加,規(guī)劃2025年備載容量達17.2%。將會配合臺積電的水電需求,以確保供應(yīng)上沒有問題。
責編AJX

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