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一種簡便制備微米精度柔性印刷模板的通用方法

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2020-12-02 09:57 ? 次閱讀

微納制造技術(shù)的快速發(fā)展為納米光子器件、光學(xué)電路、光電探測器等提供了多樣的設(shè)計(jì)和應(yīng)用空間。高度集成化器件需要在復(fù)雜表面上構(gòu)筑精細(xì)微納結(jié)構(gòu)。作為光學(xué)接口的3D波導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)是納米光子應(yīng)用的基本互連單元,光子元器件被集成在芯片的有限區(qū)域乃至復(fù)雜曲面上。因此,在曲面上實(shí)現(xiàn)具有精確形貌和組分微納米結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與制造,對于新型結(jié)構(gòu)光電器件的發(fā)展具有重要意義。

近日,中國科學(xué)院化學(xué)研究所宋延林課題組,與蘇黎世聯(lián)邦理工大學(xué)合作,通過完全非光刻的微米模板在復(fù)雜曲面印刷制備出單納米顆粒精度的微納米結(jié)構(gòu),結(jié)合格子Boltzmann模型理論,分析曲面液體內(nèi)Laplace壓差引導(dǎo)納米顆粒的組裝行為,并驗(yàn)證曲面光子器件的光波導(dǎo)及光致發(fā)光特性。該研究提出一種完全非光刻的納米印刷曲面微納結(jié)構(gòu)策略,闡明納米粒子在彎曲液體介質(zhì)中組裝的調(diào)控機(jī)制以及曲面光子器件的工作原理,建立了一種簡便制備微米精度柔性印刷模板的通用方法。基于納米粒子組裝的光子結(jié)構(gòu)展示了曲率依賴的多波長傳輸和發(fā)射特性,在光子通信和彩色全息圖中具有廣泛的應(yīng)用前景。這種完全非光刻的曲面印刷策略,還可以通過多次套印的方式實(shí)現(xiàn)多種材料納米結(jié)構(gòu)的有效構(gòu)筑,將其功能從平整表面擴(kuò)展到復(fù)雜曲面,為復(fù)雜空間環(huán)境中的光子操縱和信息傳播奠定基礎(chǔ)。

曲面印刷微納結(jié)構(gòu)光子器件

相關(guān)研究成果發(fā)表在Angewandte Chemie International Edition上。化學(xué)所研究員宋延林、副研究員蘇萌為論文通訊作者,蘇萌和蘇黎世聯(lián)邦理工大學(xué)博士秦飛飛為論文第一作者。研究工作得到國家自然科學(xué)基金委員會(huì)、科技部、北京市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)和中科院的支持。

責(zé)任編輯:lq

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原文標(biāo)題:化學(xué)所等發(fā)展出曲面印刷微納結(jié)構(gòu)光子器件新策略

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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