在過去的幾十年里，美國國防高級研究計劃局（DARPA）微系統技術辦公室（MTO）大力推動電子材料、器件和系統技術的革命性進步，為美國提供了強大的國防和經濟優勢。為了繼續延續其成功的電子創新之路，DARPA微系統技術辦公室于2019年7月16日啟動了一項名為“微系統探索計劃”的新項目。

“微系統探索計劃”項目的征集將采納DARPA其它項目快速征集活動的成功經驗——如DARPA“人工智能探索計劃”和國防科學辦公室的“顛覆性工程”計劃等。這些項目分別專注于推動和促進人工智能技術和基礎科學的快速發展，并已顯示出項目快速征集方案的好處。“微系統探索計劃”的每個項目都采用簡化的提議、合同簽訂和資助流程，將方便個人和組織完成項目使命，為美國國防高級研究計劃局貢獻力量。“微系統探索計劃”每個研究項目的資助金額將達到100萬美元。

據麥姆斯咨詢介紹，在應對未來與微系統相關挑戰的過程中，微系統技術辦公室已確定了四項關鍵的技術和創新領域，希望公司和研究人員提出合理提議。

1、嵌入式微系統智能化和本地化處理。

2、用于電磁（EM）頻譜優勢的下一代前端組件技術。

3、為提高功能密度和安全性的微系統集成。

4、顛覆性的國防微系統應用。

DARPA表示，每個領域都為探索創新技術提供了重要機會。擬進行的研究應該能使科學、器件或系統取得革命性的進步。特別需要排除的是那些主要對現有實踐狀態實施改進的研究。

微系統技術辦公室由Arati Prabhakar創立，專注于微機電系統（MEMS）、微電子、光電子、算法、系統架構的研發。該辦公室的使命是防止戰略突襲，幫助確保美國國防部技術優勢，以及應對美國國家安全面臨的復雜威脅。

附：摻鈧（Sc）氮化鋁（AIN）材料的新應用研究是“微系統探索計劃”的潛在研究項目。摻鈧（Sc）氮化鋁（AIN）是一種廣泛應用于射頻濾波器、超聲波換能器和振蕩器的壓電材料。近期有研究工作已經證實了這種新興材料在鐵電開關器件及設備中應用的巨大潛力。然而，目前對這種能力的探索僅限于試驗研究環境。可以在此研究的基礎上進一步拓展出與“氮化鐵電材料和非易失性存儲器”相關的研究課題，如決定鐵電行為特征的厚度和摻雜范圍和鐵電響應的魯棒性和重現性等，并進一步證明氮化鐵電材料是一種技術上有用的材料。